一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及激光器领域，具体涉及一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置。准分子激光器内多个气体单元、水路单元上对应的气体流量传感器、水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起并接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个气体单元、水路单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开并产生低报警状态信号。该装置精确采集各单元的NPN信号并实时监测产生互锁，能保证各气路单元内气体流量和各水路单元水流量不低于危险下限值，不会出现因为气体流量值过低而损坏光学器件或者因为水路流量过低而损坏腔体及各配电单元的情况。

A multi parameter interlocking terminal device based on excimer laser

【技术实现步骤摘要】
一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置
本技术涉及激光器领域，具体而言，涉及一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置。
技术介绍
准分子激光器是一种面向深紫外特征应用的脉冲式气体激光器，具有高重频、大能量、短波长、窄线宽等特点，是较优的微电子光刻装置用激光光源。准分子激光器内部各个单元造价昂贵，如果某些器件由于一些误操作或是执行机构的延时而产生损伤，代价会比较大，传统的放电泵浦准分子激光器各气体流量和水路流量传感器为三线制采集输入端只采集模拟电流信号，这样气体和水流量采集如果异常只能让单片机通过CAN传输给软件控制装置，由软件控制装置根据限制发出不同级别的报警指令，对于一些严重超限制指令，需要通过软件控制装置发出报警指令来实现放电腔停止放电的操作，该方法一方面存在延时，另一方面存在通信链路受装置电磁干扰导致通信故障等问题，因此需要直接通过硬件切断电源，硬件互锁对于保护激光器具有很重要的意义。准分子激光器报警分为很多级别，对于比较危险的信号，需要直接断电以确保激光器的使用安全和工作人员的人身安全，对于快门如果没有氮气无法打开，出现氮气流量严重缺少时，是一件很危险的事情，必须硬件产生互锁，直接断开其供电电源，还有水路单元比如因厂务等一些外在原因突然停水或水流值低于某一限值，此时需要从硬件上断开高压充电电源，因此硬件互锁非常有必要。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，以解决现有技术中无法实现对准分子激光器多路气体流量、水流量的硬件互锁的问题。>为了解决上述技术问题，本技术提供了一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，准分子激光器内包括有：工作在浓度稳定的气体环境中的多个气体单元、工作在水流降温环境中的多个水路单元；多参数互锁终端装置包括多个：气体流量传感器、水流量传感器、光电耦合器、继电器；多个气体单元上设置有气体流量传感器，多个水路单元上设置有水流量传感器；其中：多个气体单元上气体流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起并接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个气体单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开并产生气体流量低报警状态信号；多个水路单元上水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个水路单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开产生水流量低报警状态信号。进一步地，多个气体单元上气体流量传感器的NPN信号分别连接到对应的电耦合器的第二管脚，且多个光电耦合器的第四管脚连在一起接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号N2_OUT+和N2_OUT-，当多个气体单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号N2_OUT+和N2_OUT-断开并产生气体流量低报警状态信号N2_PROTECT_STATE；多个水路单元上水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器的第二管脚，且多个光电耦合器的第四管脚连在一起接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号FLOW_OUT+和FLOW_OUT-，当多个水路单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号FLOW_OUT+和FLOW_OUT-断开产生水流量低报警状态信号FLOW_PROTECT_STATE。进一步地，在多参数互锁终端装置中，当气体流量和水流量有一个或者同时产生低报警状态时，控制准分子激光器的高电压充电电源HVPS断开，并产生激光器高压充电电源断开状态信号LASER_PROTECT_STATE。进一步地，多参数互锁终端装置还包括单片机，气体流量低报警状态信号N2_PROTECT_STATE、水流量低报警状态信号FLOW_PROTECT_STATE和激光器高压充电电源断开状态信号LASER_PROTECT_STATE通过光电耦合器传输给单片机。进一步地，多参数互锁终端装置还包括主控制器，单片机将气体流量低报警状态信号N2_PROTECT_STATE、水流量低报警状态信号FLOW_PROTECT_STATE发送给主控制器，主控制器保存气体流量状态信号和水流量状态信号信息，定时监测气体单元和水路单元的工作状态。进一步地，单片机通过CAN总线将气体流量低报警状态信号N2_PROTECT_STATE、水流量低报警状态信号FLOW_PROTECT_STATE发送给主控制器。进一步地，单片机使用CAN总线经过CAN专用隔离芯片、CAN接口将气体流量低报警状态信号N2_PROTECT_STATE、水流量低报警状态信号FLOW_PROTECT_STATE发送给主控制器。进一步地，气体流量传感器的NPN信号输出为0时代表气体流量值低于设定限值，输出为1时代表气体流量值为正常；水流量传感器的NPN信号输出为0时代表水流量值低于设定限值，输出为1时代表气体流量值为正常；继电器的开关默认为正常工作模式为常闭状态，出现异常时开关断开。进一步地，光电耦合器为光电耦合器TLP521。进一步地，多个气体单元包括：光路传输单元、波长检测单元、线宽压窄单元、输出耦合单元、脉宽展宽单元、布窗、快门；多个水路单元包括：主振荡放电腔、磁脉冲压缩器、谐振充电电源、高电压充电电源、固体脉冲升压单元。本技术实施例中的基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，精确采集各单元气体流量和水流量的NPN信号并实时监测产生互锁，它能保证各气路单元内气体流量和各水路单元水流量不低于危险下限值，不会出现因为气体流量值过低而损坏光学器件或者因为水路流量过低而损坏腔体及各配电单元的情况，进而影响整个激光器的工作状态。附图说明此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本申请的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1是根据一个实施方式的准分子激光器内单元布局图；图2是根据一个实施方式的多参数互锁终端装置的电路原理图；图3是根据一个实施方式的多参数互锁终端装置的通讯接口电路图。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。需要说明的是，本技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，其特征在于，所述准分子激光器内包括有：工作在浓度稳定的气体环境中的多个气体单元、工作在水流降温环境中的多个水路单元；所述多参数互锁终端装置包括多个：气体流量传感器、水流量传感器、光电耦合器、继电器；多个所述气体单元上设置有气体流量传感器，多个所述水路单元上设置有水流量传感器；其中：/n多个所述气体单元上气体流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起并接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个所述气体单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开并产生气体流量低报警状态信号；/n多个所述水路单元上水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个所述水路单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开产生水流量低报警状态信号。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，其特征在于，所述准分子激光器内包括有：工作在浓度稳定的气体环境中的多个气体单元、工作在水流降温环境中的多个水路单元；所述多参数互锁终端装置包括多个：气体流量传感器、水流量传感器、光电耦合器、继电器；多个所述气体单元上设置有气体流量传感器，多个所述水路单元上设置有水流量传感器；其中：
多个所述气体单元上气体流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起并接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个所述气体单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开并产生气体流量低报警状态信号；
多个所述水路单元上水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个所述水路单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开产生水流量低报警状态信号。


2.根据权利要求1所述的基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，其特征在于，多个所述气体单元上气体流量传感器的NPN信号分别连接到对应的电耦合器的第二管脚，且多个光电耦合器的第四管脚连在一起接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号N2_OUT+和N2_OUT-，当多个所述气体单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号N2_OUT+和N2_OUT-断开并产生气体流量低报警状态信号N2_PROTECT_STATE；
多个所述水路单元上水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器的第二管脚，且多个光电耦合器的第四管脚连在一起接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号FLOW_OUT+和FLOW_OUT-，当多个所述水路单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号FLOW_OUT+和FLOW_OUT-断开产生水流量低报警状态信号FLOW_PROTECT_STATE。


3.根据权利要求2所述的基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，其特征在于，在所述多参数互锁终端装置中，当气体流量和水流量有一个或者同时产生低报警状态时，控制准分子激光器的高电压充电电源HVPS断开，并产生激光器高压充电电源断开状态信号LAS...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琴，韩晓泉，黄利杰，冯泽斌，张华，廖密，王香，江锐，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11