一种355nm紫外光的输出方法及系统技术方案

技术编号:23896502 阅读:62 留言:0更新日期:2020-04-22 08:45
本发明专利技术属于激光技术领域,提供了一种355nm紫外光的输出方法及系统,包括:控制第一激光器产生的激光脉冲经倍频晶体产生532nm倍频光和基频光;控制第二激光器产生泵浦光,以泵浦Nd:YVO

A 355nm UV output method and system

【技术实现步骤摘要】
一种355nm紫外光的输出方法及系统
本专利技术涉及激光
,尤其涉及一种355nm紫外光的输出方法及系统。
技术介绍
激光加工是激光应用最广泛的技术,主要实现对各种材料的切割、焊接、熔覆、打孔、雕刻和热处理等。激光加工作为多学科交叉应用技术,是在计算机技术、材料科学、激光技术、数控技术以及检测技术充分发展的基础上,发展的材料加工技术。紫外波段皮秒激光由于其波长短,单光子能量高,能量较为集中,作用时间较短等优势,被广泛应用于高精度机械零件加工、物质检测以及生物医疗技术中,具有很大的市场前景和发展潜力。目前,由于在紫外波段激光还没有相应的激光增益晶体。因此,获得355nm紫外波段的激光输出方法主要是利用非线性频率变换。在产生紫外皮秒355nm激光的过程中,一般利用Nd:YVO4或Nd:YAG晶体产生1064nm基频光,之后通过其三倍频产生355nm紫外光。具体为:通过基频光的多级放大提高1064nm种子光的功率,之后再进行倍频产生532nm二次谐波并控制转换效率为50%左右,1064nm基频光与532nm倍频光的光子数比接近2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种355nm紫外光的输出方法,其特征在于,包括:/n控制第一激光器产生激光脉冲,所述激光脉冲经倍频晶体后产生532nm倍频光和剩余的1064nm基频光;/n控制第二激光器产生泵浦光,用以泵浦激光晶体;/n所述剩余的1064nm基频光分别经第一双色镜和第二双色镜反射后,与所述泵浦光共同入射到经泵浦后的激光晶体;/n所述剩余的1064nm基频光经激光晶体放大后照射到第三双色镜,并透射至和频晶体;/n所述532nm倍频光经所述第一双色镜透射后,照射到一反射镜,并被反射至所述第三双色镜,经所述第三双色镜反射后照射至所述和频晶体,以和照射在所述和频晶体上的被放大后的剩余的1064nm基频光共同产生...

【技术特征摘要】
1.一种355nm紫外光的输出方法,其特征在于,包括:
控制第一激光器产生激光脉冲,所述激光脉冲经倍频晶体后产生532nm倍频光和剩余的1064nm基频光;
控制第二激光器产生泵浦光,用以泵浦激光晶体;
所述剩余的1064nm基频光分别经第一双色镜和第二双色镜反射后,与所述泵浦光共同入射到经泵浦后的激光晶体;
所述剩余的1064nm基频光经激光晶体放大后照射到第三双色镜,并透射至和频晶体;
所述532nm倍频光经所述第一双色镜透射后,照射到一反射镜,并被反射至所述第三双色镜,经所述第三双色镜反射后照射至所述和频晶体,以和照射在所述和频晶体上的被放大后的剩余的1064nm基频光共同产生355nm紫外光,并输出。


2.根据权利要求1所述的355nm紫外光的输出方法,其特征在于,所述泵浦激光晶体的过程为:
所述泵浦光经所述第二双色镜后入射到所述激光晶体,所述激光晶体为Nd:YVO4晶体或Nd:YAG晶体。


3.根据权利要求2所述的355nm紫外光的输出方法,其特征在于,所述第一激光器为1064nm皮秒激光器或纳秒激光器。


4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:王家赞张旭东储玉喜陈彬彬
申请(专利权)人:北京科益虹源光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:北京;11

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