本发明专利技术提供了一种长寿命准分子激光器电极及其制备方法，长寿命准分子激光器电极包括：由黄铜合金制成的基体；基体的工作面上敷设有由化学镀铜的Cu‑Zr非晶合金制成的涂层。本发明专利技术通过激光熔覆技术在黄铜基体上获得了均匀的Cu‑Zr复合涂层，同时通过调整Cu‑Zr非晶粉末的成分比例和在Cu‑Zr粉末化学镀铜来增强该涂层的导电性能和耐氟侵蚀性能。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及金属电极，尤其是涉及一种长寿命准分子激光器电极及其制备方法。
技术介绍
1、准分子激光器具有高输出功率、大脉冲能量和短波长等优点，在半导体、光伏和医疗等领域具有广泛的应用。工作时需要往激光器腔室中通入工作气体作为放电介质，然后在电极间施以高电压，工作气体电离放电后便会产生脉冲激光。而工作气体中含氟等离子体对金属具有高度的腐蚀性，腔室内的电极经反复使用后会发生侵蚀和腐蚀，导致放电间隙宽度的增加和放电扩展，因此改善电极的耐氟腐蚀性非常必要。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种长寿命准分子激光器电极及其制备方法，以解决现有技术中存在的至少一个上述技术问题。
2、为解决上述技术问题，本专利技术提供的一种长寿命准分子激光器电极，包括：由黄铜合金制成的基体；
3、基体的工作面上敷设有由化学镀铜的cu-zr非晶合金制成的涂层。
4、进一步地，所述黄铜合金为均匀再结晶态的c36000黄铜合金，c36000黄铜合金的晶粒度为6级以上。
>5、进一步地，所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种长寿命准分子激光器电极，其特征在于，包括：由黄铜合金制成的基体；
2.根据权利要求1所述的长寿命准分子激光器电极，其特征在于，所述黄铜合金为均匀再结晶态的C36000黄铜合金，C36000黄铜合金的晶粒度为6级以上。
3.根据权利要求1所述的长寿命准分子激光器电极，其特征在于，所述涂层的厚度为0.5-1.0mm。
4.一种权利要求1-3任一所述的长寿命准分子激光器电极的制备方法，其特征在于，其包括如下步骤：
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，还包括步骤S60:
6.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，步...
【技术特征摘要】
1.一种长寿命准分子激光器电极，其特征在于，包括：由黄铜合金制成的基体；
2.根据权利要求1所述的长寿命准分子激光器电极，其特征在于，所述黄铜合金为均匀再结晶态的c36000黄铜合金，c36000黄铜合金的晶粒度为6级以上。
3.根据权利要求1所述的长寿命准分子激光器电极，其特征在于，所述涂层的厚度为0.5-1.0mm。
4.一种权利要求1-3任一所述的长寿命准分子激光器电极的制备方法，其特征在于，其包括如下步骤：
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，还包括步骤s60:
6.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：阚金锋，吕成伟，马放，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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