本发明公开了一种准分子激光器剂量稳定控制系统及控制方法，其中，控制系统包括：高压放电组件，用于接收触发信号，并根据触发信号及预设高压设定值，产生脉冲高压；激光器，其内充有工作气体，工作气体用于接收脉冲高压，并产生激光脉冲；激光参数测量组...

本发明提供了一种用于准分子激光器的双路脉冲触发装置和方法，该双路脉冲触发装置包括主控模块，外触输入模块、使能输入模块、两路信号切换控制模块、两路电脉冲信号处理模块和两路光脉冲信号处理模块；主控模块实现双路脉冲触发装置的多种不同脉冲信号输...

本发明提供了一种适用于准分子激光器放电腔的钝化方法及装置。该方法包括：S1，将放电腔的温度升至第一温度，并维持该第一温度以对放电腔进行烘烤；S2，对放电腔进行抽真空以使得放电腔内的杂质气体被排出；S3，向放电腔内充入钝化气体以对放电腔进...

本发明提供一种准分子激光器的温度控制装置和方法，该装置终端与水冷厂务主控器和水冷PID控制模块通过CAN总线进行通讯连接从而提高系统抗电磁干扰能力；通过终端有效实时对水冷厂务主控器和水冷PID控制模块采集的厂务水信息和温控信息进行信息存...

本实用新型公开了一种带有对准装置的线宽压窄模块，包括棱镜组，用于将放电腔荧光进行反射，产生反射荧光；光电二极管，用于接收所述反射荧光，并对反射荧光进行响应；光示波器，与所述光电二极管连接，用于观测光电二极管信号强度；角度调节装置，用于调...

本发明提供了一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法，该方法为：先获取一个脉冲序列中第n个脉冲的能量测量值；然后计算该能量测量值与能量设定值之间的差值；以该序列的第z个脉冲为分界点，当n为小于z的正整数时，根据第一数学模型计算下一个脉冲的放...

本发明提供了一种准分子激光器多参数采集控制系统，在就近采集的原则下，为了避免位于激光器供电模块附近的采集控制终端受到干扰，在采集控制终端的主控芯片MCU信号进入前和出来后增加隔离芯片，有效防止外部电源对终端系统主控芯片的干扰，另外在供电...

本发明提供的光谱稳定的线宽调整装置及系统，通过线阵CCD捕捉光束中心位置及角度的变化信息，通过调节第一棱镜的角度及位置对线宽度及位置的变化进行补偿，从而实现激光光谱的稳定输出，本装置结构小巧紧凑、操作简便，可通过软件编写实现自动调整，调...

本实用新型公开了一种带有对准装置的线宽压窄模块，包括可见光激光器，用于产生可见激光；棱镜组，用于将所述可见激光进行反射，产生反射可见激光；角度调节装置，用于调节所述线宽压窄模块的角度，使所述反射可见激光与放电腔的光轴同轴，并穿过所述放电...

本发明提供的准分子激光器电极结构及准分子激光器，可以通过阳极高度的精确调节来抵消激光器长期工作后因阳极消耗而导致放电间距增大的问题，从而保证放电区间不产生改变。支持受损阳极的反复维修，在保证激光器输出性能一致的前提下，大大提高的阳极的使...

本发明提出的一种线宽压窄模块及其调整方法，解决了线宽压窄模块的气域保护问题，可对线宽压窄模块中光学元件及光路进行惰性气体保护，并维持相对稳定的惰性气体环境，提高光刻用准分子激光器光谱输出的稳定性。

本实用新型提供的尖端脉冲探测系统，包括光电转换模块、模拟电路模块、数字电路模块、上位机以及电源接口模块。本实用新型提供的尖端脉冲探测系统具有抗干扰能力强、体积小巧，实现对距离探测器0.5米半球范围内的尖端放电识别与方位探测。

本发明公开了一种带有对准装置的线宽压窄模块，包括棱镜组，用于将放电腔荧光进行反射，产生反射荧光；光电二极管，用于接收所述反射荧光，并对反射荧光进行响应；光示波器，与所述光电二极管连接，用于观测光电二极管信号强度；角度调节装置，用于调节所...

本发明公开了一种带有对准装置的线宽压窄模块，包括可见光激光器，用于产生可见激光；棱镜组，用于将所述可见激光进行反射，产生反射可见激光；角度调节装置，用于调节所述线宽压窄模块的角度，使所述反射可见激光与放电腔的光轴同轴，并穿过所述放电腔被...

本发明提供的尖端脉冲探测系统，包括光电转换模块、模拟电路模块、数字电路模块、上位机以及电源接口模块。本发明提供的尖端脉冲探测系统具有抗干扰能力强、体积小巧，实现对距离探测器0.5米半球范围内的尖端放电识别与方位探测。

本发明提出一种激光器中心波长测量的温漂反馈方法及装置，使用参考激光器对FP标准因为温度压力等变化引起的漂移进行实施反馈，解决了FP标准具测量激光器中心波长的漂移问题，提高了激光器中心波长的精度和稳定度。

本发明公开了一种波长稳定控制装置，用于对激光光谱进行控制，包括：棱镜组、光栅、棱镜组平台、精密转台、激光放电腔、输出耦合镜、波长测量系统、以及控制系统；所述精密转台，用于调节旋转所述棱镜组中最后一个棱镜；所述波长测量系统，用于监测激光输...

本发明提供的基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制方法及系统，对准分子激光器温度控制进行温度补偿，将Smith预估补偿与PID温度控制相结合构成复合控制，有效减小温度控制的滞后时间和超调量，提高系统的工作稳定性和响应时间。

本发明提供的用于激光器的窗口结构及准分子激光器，通过在洁净气体的流通路径上增加多层窗口结构，具有较高气压的洁净气体在小室内形成若干涡流，对气流能量进行耗散，总压头逐步降低，最终与放电区压力一致，使得气流变得极其缓慢的进入放电区的主流场中...

本发明公开了一种用于激光器的快门装置，包括：外壳组件，气动驱动装置，快门主体以及能量吸收装置；所述外壳组件上设置有供激光输出的进光接口；所述气动驱动装置用于驱动所述快门主体的开启和闭合；所述能量吸收装置用于将通过所述快门主体截断的激光进...