一种用于激光器的快门装置以及激光器制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于激光器的快门装置，包括：外壳组件，气动驱动装置，快门主体以及能量吸收装置；所述外壳组件上设置有供激光输出的进光接口；所述气动驱动装置用于驱动所述快门主体的开启和闭合；所述能量吸收装置用于将通过所述快门主体截断的激光进行能量吸收；所述气动驱动装置，快门主体以及能量吸收装置都设置在所述外壳组件中。本发明专利技术还公开了一种激光器。本发明专利技术公开的快门装置和激光器通过能量吸收装置实现能量吸收，并实现快速散热，以达到保护光路、元件寿命，实现系统安全的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种用于激光器的快门装置以及激光器
本专利技术涉及激光
，特别涉及一种用于激光器的快门装置以及激光器。
技术介绍
在高端光刻领域，高重频准分子激光因其高重频、窄线宽和大能量的特点，是目前半导体光刻领域应用的占绝对主导地位的光源。激光器快门是准分子激光器整机必不可少的组成部件之一。通过快门可以执行光刻机整机是否输出激光的指令，实现对快门的控制。激光器快门是控制激光器激光输出的装置，快门单元性能及功能的好坏直接或间接影响了激光器整机的功能和安全性。在准分子激光器系统工作时，需要根据光刻机的要求判断是否对激光进行输出，当不需要输送到光刻机时，就需要快门阻断激光，当需要激光输出时，打开快门并将激光输出到光刻机。
技术实现思路
本专利技术旨在克服现有技术存在的缺陷，本专利技术采用以下技术方案：一方面，本专利技术实施例提供了一种用于激光器的快门装置，所述用于激光器的快门装置包括：外壳组件、气动驱动装置、快门主体以及能量吸收装置；所述外壳组件上设置有供激光输出的进光接口；所述气动驱动装置用于驱动所述快门主体的开启和闭合；所述能量吸收装置用于将通过所述快门主体截断的激光进行能量吸收；所述气动驱动装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于激光器的快门装置，其特征在于，所述用于激光器的快门装置包括：外壳组件、气动驱动装置、快门主体以及能量吸收装置；所述外壳组件上设置有供激光输出的进光接口；所述气动驱动装置用于驱动所述快门主体的开启和闭合；所述能量吸收装置用于将通过所述快门主体截断的激光进行能量吸收；所述气动驱动装置、所述快门主体以及所述能量吸收装置都设置在所述外壳组件中。

【技术特征摘要】
1.一种用于激光器的快门装置，其特征在于，所述用于激光器的快门装置包括：外壳组件、气动驱动装置、快门主体以及能量吸收装置；所述外壳组件上设置有供激光输出的进光接口；所述气动驱动装置用于驱动所述快门主体的开启和闭合；所述能量吸收装置用于将通过所述快门主体截断的激光进行能量吸收；所述气动驱动装置、所述快门主体以及所述能量吸收装置都设置在所述外壳组件中。2.根据权利要求1所述的用于激光器的快门装置，其特征在于，所述快门主体包括：反射组件，快门底板组件，以及导轨组件；所述反射组件固定设置在所述快门底板组件上，所述射入激光可经过进光接口通过反射组件发生偏转，被偏转后的反射激光被导向至所述能量吸收装置进行能量衰散；所述快门底板组件上设置有通光孔；所述导轨组件固定设置在所述快门底板组件上。3.根据权利要求2所述的用于激光器的快门装置，其特征在于，所述气动驱动装置包括气动元件及滑块组件；所述滑块组件与所述导轨组件配合，并在所述气动元件的驱动下可在所述导轨组件中滑动，并可使所述通光孔露出。4.根据权利要求3所述的用于激...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁金滨，詹绍通，刘斌，江锐，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11