【技术实现步骤摘要】
一种准分子激光器的多参数采集控制系统
本专利技术涉及准分子激光器
，具体涉及一种准分子激光器的多参数采集控制系统。
技术介绍
准分子激光器是一种面向深紫外特征应用的脉冲式气体激光器，具有高重频，大能量，短波长，窄线宽等特点，是优秀的微电子光刻系统用激光光源。随着光刻技术的发展，提出了模块化，集中化，布线就近化原则，需要一个独立终端来完成激光器多参数采集控制。多参数采集控制系统需要采集控制的参数包括以下四个方面：一、水路流量采集，分子激光器的电源工作时电能转化为热能，如果多余的热量不释放掉，热能会不断累积，将影响电源的工作寿命，因此需要采集并监测各电源模块水流量，如果水流量过低将直接影响到电源的使用寿命，甚至直接导致电源无法正常工作，所以水流量采集监测具有很大意义；二、放电腔腔体温度的采集控制，准分子激光器的放电腔体工作时能量转换效率较低，输入的大部分电能转化为热量，这些热量若不能及时散出，将会使腔体工作气体温度快速升高。而激光器的工作气体具有一个最佳温度范围，在该温度范围内，能大幅提高激光器的能量稳定性和延长工作寿命，所以对放电腔体的温度采集控制非常必要；三...
【技术保护点】
1.一种准分子激光器的多参数采集控制系统，所述采集控制系统包括第一传感组件、第二传感组件和比例阀组件，所述第一传感组件包括分别置于所述固态开关、谐振充电电源、高电压充电电源、磁脉冲压缩器和放电腔所在水冷却组件支水管道上的水流量传感器，分别置于线宽压窄模块、前窗镜、后窗镜、能量检测模块、快门的气体路径上的气体流量传感器和用于检测所述放电腔体的温湿度传感器和内外压差传感器，所述第二传感组件包括分别置于所述放电腔和所述磁脉冲压缩器内的温度传感器，所述比例阀组件包括置于所述放电腔和所述磁脉冲压缩器所在水冷却组件支水管道上的第一比例阀和第二比例阀，其特征在于，所述采集控制系统还包括采...
【技术特征摘要】
1.一种准分子激光器的多参数采集控制系统，所述采集控制系统包括第一传感组件、第二传感组件和比例阀组件，所述第一传感组件包括分别置于所述固态开关、谐振充电电源、高电压充电电源、磁脉冲压缩器和放电腔所在水冷却组件支水管道上的水流量传感器，分别置于线宽压窄模块、前窗镜、后窗镜、能量检测模块、快门的气体路径上的气体流量传感器和用于检测所述放电腔体的温湿度传感器和内外压差传感器，所述第二传感组件包括分别置于所述放电腔和所述磁脉冲压缩器内的温度传感器，所述比例阀组件包括置于所述放电腔和所述磁脉冲压缩器所在水冷却组件支水管道上的第一比例阀和第二比例阀，其特征在于，所述采集控制系统还包括采集控制终端和供电模块，所述第一传感组件、所述第二传感组件和所述比例阀组件与所述采集控制终端通讯连接，所述采集控制终端用于接收所述第一传感组件和所述第二传感组件的信息并根据所述信息控制所述比例阀组件的开度，所述供电模块与所述采集控制终端连接，用于给所述采集控制终端供电，所述采集控制终端包括电连接器、第一转换模块、第一隔离芯片、第二转换模块、第二隔离芯片、控制模块、第三隔离芯片、接口模块和主控芯片MCU，所述电连接器、所述第一转换模块、所述第一隔离芯片、所述接口模块和所述主控芯片MCU依次连接，所述电连接器接收所述第一传感器的第一模拟信号传至所述第一转换模块后转换成为第一数字信号，所述第一数字信号经过所述第一隔离芯片后通过所述接口模块传至所述主控芯片MCU；所述电连接器、所述第二转换模块、所述第二隔离芯片、所述接口模块和所述主控芯片MCU依次连接，所述电连接器接收所述第二传感器的第二模拟信号传至所述第二转换模块后转换成为第二数字信号，所述第二数字信号经过所述第二隔离芯片后通过所述接口模块传至所述主控芯片MCU；所述电连接器、所述控制模块、所述第三隔离芯片和所述主控芯片MCU依次连接，所述主控芯...
【专利技术属性】
技术研发人员：张琴，韩晓泉，冯泽斌，张华，黄利杰，廖密，王香，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11
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