一种多通道皮秒激光器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多通道皮秒激光器，其包括有一光纤皮秒种子源，光纤皮秒种子源输出的皮秒激光经过一脉冲选单模块进行脉冲选取处理后，通过第一分光单元分成第一路分支激光和第二路分支激光，其中：第一路分支激光依次经过第一路板条放大单元、第一光束整形单元和第一倍频单元处理后，通过第一输出单元输出A路激光；第二路分支激光依次经过二次脉冲选单模块、预放大单元、第二路板条放大单元、第二光束整形单元、第二倍频单元和第二分光单元进行处理后，通过第二输出单元输出B路激光、C路激光和D路激光。本实用新型专利技术含有4路皮秒激光输出，可降低薄膜太阳能光伏电池的生产成本，以及提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种多通道皮秒激光器
本专利技术涉及皮秒激光器，尤其涉及一种多通道皮秒激光器。
技术介绍
薄膜太阳能光伏电池在生产制造过程中，在每层薄膜沉积后，均需对膜层进行刻蚀，使各个电池之间串联起来(即我们常说的P1/P2/P3制程)，这样，就能够根据电池宽度设定电池和模块的电流。同时，利用激光或其他方式对指定位置进行清边绝缘操作，以实现电池间的绝缘性。目前皮秒激光器用于薄膜太阳能光伏电池的生产制程效果最好。相对于纳秒激光光源来讲，皮秒激光具有更高的峰值功率，它与材料相互作用时，刻蚀部分热影响很小，产生“冷”加工的效果，避免不必要的热效应，无热影响区，且边缘光滑。但是，市面上常见的皮秒激光器绝大多数是单一波长输出，极少数厂家生产可以双波长切换输出的光源，而在薄膜太阳能光伏电池生产制造过程中，需要用到4种不同的激光参数，这样的话，需要配套最少3台皮秒激光器，而单台皮秒激光器的价格已经十分昂贵，一般企业很难承受如此大的生产成本压力。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足，提供一种含有4路皮秒激光输出，可用于执行薄膜太阳能光伏电池生产过程中的P1制程、P2制程、P3制程以及清边本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多通道皮秒激光器，其特征在于，包括有一光纤皮秒种子源(1)，所述光纤皮秒种子源(1)输出的皮秒激光经过一脉冲选单模块(2)进行脉冲选取处理后，通过第一分光单元(3)分成第一路分支激光和第二路分支激光，其中：所述第一路分支激光依次经过第一路板条放大单元(4)、第一光束整形单元(5)和第一倍频单元(6)处理后，通过第一输出单元(7)输出A路激光；所述第二路分支激光依次经过二次脉冲选单模块(8)、预放大单元(9)、第二路板条放大单元(10)、第二光束整形单元(11)、第二倍频单元(12)和第二分光单元(13)进行处理后，通过第二输出单元(14)输出B路激光、C路激光和D路激光。

【技术特征摘要】
1.一种多通道皮秒激光器，其特征在于，包括有一光纤皮秒种子源(1)，所述光纤皮秒种子源(1)输出的皮秒激光经过一脉冲选单模块(2)进行脉冲选取处理后，通过第一分光单元(3)分成第一路分支激光和第二路分支激光，其中：所述第一路分支激光依次经过第一路板条放大单元(4)、第一光束整形单元(5)和第一倍频单元(6)处理后，通过第一输出单元(7)输出A路激光；所述第二路分支激光依次经过二次脉冲选单模块(8)、预放大单元(9)、第二路板条放大单元(10)、第二光束整形单元(11)、第二倍频单元(12)和第二分光单元(13)进行处理后，通过第二输出单元(14)输出B路激光、C路激光和D路激光。2.如权利要求1所述的多通道皮秒激光器，其特征在于，所述光纤皮秒种子源(1)与二次脉冲选单模块(8)之间设有一同步延时器(15)，所述同步延时器(15)用于实现二次脉冲选单模块(8)输入的第二路分支激光与光纤皮秒种子源(1)输出的皮秒激光脉冲同步。3.如权利要求1所述的多通道皮秒激光器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘庆京，鄢歆，艾庆康，
申请(专利权)人：北京莱泽光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11