一种高重复频率极紫外光脉冲产生装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高重复频率极紫外光脉冲产生装置，包括位于激光脉冲传输光路上依次排列的第一聚焦透镜，第一内置中空光纤且充惰性气体的金属管，第二聚焦透镜，分束镜，棱镜对，第一平面反射镜，第二平面反射镜，第三聚焦透镜，第二内置中空光纤且充惰性气体的金属管，第三平面反射镜，第一凹面反射镜，啁啾镜组，第二凹面反射镜，第四平面反射镜，充惰性气体管状气室和铝膜滤波片。本发明专利技术采用级联中空光纤作为光谱展宽，以啁啾镜或棱镜组作为脉冲压缩装置，得到的亚15飞秒近红外脉冲可进一步在充惰性气体的管状气室产生高次谐波，从而最终可使广泛应用的光纤激光器输出的高重频近红外飞秒脉冲大跨度地转变为高重频极紫外脉冲光源。

【技术实现步骤摘要】
一种高重复频率极紫外光脉冲产生装置
本专利技术涉及脉冲产生装置领域，尤其涉及一种高重复频率极紫外光脉冲产生装置。
技术介绍
近几十年来，飞秒脉冲激光技术经历了快速的发展历程，脉宽压缩和脉冲能量的提高都得到了实质性的突破，目前已广泛应用于物理、化学、生物、材料与信息科学等研究领域，直接带动相关研究进入到微观超快过程领域，同时开创了诸如强场物理、飞秒化学、量子控制化学、超快光谱学等一些全新的研究领域。如何获得脉宽更短(单个或几个光周期)，能量更高的飞秒脉冲，成为人们研究飞秒脉冲激光技术长期关注的一个焦点。在紫外波段超短波长区域(121nm-10nm，对应于光子能量10.3eV-124eV)是所谓的“极紫外”(EUV)区域。极紫外激光在极紫外光刻、高能射线光源和超高时间分辨的量子动力学过程在线观测等领域具有十分重要的应用。目前只有有限的几种方法可以产生重复频率不超过kHz的低重频极紫外光脉冲，如同步加速器装置、高密度等离子体中的电子碰撞激发等。尽管最近出现的高强度钛蓝宝石激光器现在可以在桌面装置中产生EUV光，但钛蓝宝石激光器的稳定性往往受到周围环境温度和湿度的很大影响，并且所产生的EUV本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高重复频率极紫外光脉冲产生装置，其特征在于，包括按照激光脉冲传输光路依次排列的第一聚焦透镜、第一充惰性气体管、第二聚焦透镜、分束镜、棱镜对、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第三聚焦透镜、第二充惰性气体管、第三平面反射镜、第一凹面反射镜、啁啾镜组、第二凹面反射镜、第四平面反射镜、管状气室、以及铝膜滤波片；激光依次经第一聚焦透镜、第一充惰性气体管、第二聚焦透镜、分束镜、棱镜对和第一平面反射镜后反射回去；反射激光经棱镜对到达分束镜后再次反射；再次反射激光经第二平面反射镜、第三聚焦透镜、第二充惰性气体管、第三平面反射镜、第一凹面反射镜、啁啾镜组、第二凹面反射镜、第四平面反射镜、管状气室和铝膜滤...

【技术特征摘要】
1.一种高重复频率极紫外光脉冲产生装置，其特征在于，包括按照激光脉冲传输光路依次排列的第一聚焦透镜、第一充惰性气体管、第二聚焦透镜、分束镜、棱镜对、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第三聚焦透镜、第二充惰性气体管、第三平面反射镜、第一凹面反射镜、啁啾镜组、第二凹面反射镜、第四平面反射镜、管状气室、以及铝膜滤波片；激光依次经第一聚焦透镜、第一充惰性气体管、第二聚焦透镜、分束镜、棱镜对和第一平面反射镜后反射回去；反射激光经棱镜对到达分束镜后再次反射；再次反射激光经第二平面反射镜、第三聚焦透镜、第二充惰性气体管、第三平面反射镜、第一凹面反射镜、啁啾镜组、第二凹面反射镜、第四平面反射镜、管状气室和铝膜滤波片后得到纯净的高重复频率极紫外光脉冲；所述第一充惰性气体管和第二充惰性气体管均内置有中空光纤；所述管状气室填充惰性气体。2.根据权利要求1所述的高重复频率极紫外光脉冲产生装置，其特征在于，所述第一聚焦透镜、第二聚焦透镜、第三聚焦透镜均为长焦距透镜，并使输入激光束的光斑直径在焦点处小于中空光纤的内径。3.根据权利要求1所述的高重复频率极紫外光脉冲产生装置，其特征在于，所述中空光纤管的构造为将内径50-500微米，长度为0.5-2米的空心熔融石英光纤，置于V型金属托槽上，并放置在金属管道内，确保空心光纤与金属管道同轴；金属管道两端用石英玻璃片密封并抽真空，激光注入前填充压力为1.0-3...

【专利技术属性】
技术研发人员：张芳腾，聂兆刚，李加林，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东,44