本实用新型涉及激光技术领域，提供了一种基于精密转台的波长调谐装置，该装置包括：狭缝、棱镜扩束模块、精密转台以及设于该精密转台上的高反射镜、衍射光栅；其中，激光束经狭缝后至棱镜扩束模块进行一维扩束，以形成扩束激光束；扩束激光束经高反射镜进...

本实用新型公开了一种准分子激光器剂量稳定控制系统，其中，控制系统包括：高压放电组件，用于接收触发信号，并根据触发信号及预设高压设定值，产生脉冲高压；激光器，其内充有工作气体，工作气体用于接收脉冲高压，并产生激光脉冲；激光参数测量组件，用...

本实用新型提供了一种用于准分子激光器的双路脉冲触发装置，该双路脉冲触发装置包括主控模块，外触输入模块、使能输入模块、两路信号切换控制模块、两路电脉冲信号处理模块和两路光脉冲信号处理模块；主控模块实现双路脉冲触发装置的多种不同脉冲信号输出...

本实用新型提供了一种适用于激光器放电腔的钝化装置，包括：真空烘烤箱、显控单元、真空泵、气体供给单元、气体分析仪和卤素过滤器，待钝化的放电腔置于该真空烘烤箱中，使用该装置对放电腔钝化，能够定量评价钝化过程、避免放电腔材料放气对激光器性能造...

本实用新型提供了一种窄线宽准分子激光系统，该系统包括输出耦合镜和激光腔，还包括：柔性变焦模块，准分子激光束在激光腔内受到激励，经所述柔性变焦模块整形后形成非平行射出的第一光束；扩束模块，对所述第一光束进行扩束，以形成第二光束；与所述扩束...

本实用新型提供了一种准分子激光器多参数采集控制系统，在就近采集的原则下，为了避免位于激光器供电模块附近的采集控制终端受到干扰，在采集控制终端的主控芯片MCU信号进入前和出来后增加隔离芯片，有效防止外部电源对终端系统主控芯片的干扰，另外在...

本实用新型涉及准分子激光器技术领域，提供了一种用于准分子激光器的脉冲能量测量电路，该电路包括：转换模块，将待测激光脉冲信号转换成电信号，并将电信号分成待测电信号和控制待测电信号宽度的控制电信号后输出；滤波模块，与转换模块相连，对干扰信号...

本发明提供了准分子激光器的窗片更换装置及方法，窗片更换装置包括结构相同的第一窗片更换装置和第二窗片更换装置，第一窗片更换装置包括第一固定装置、第二固定装置、隔离装置，第一固定装置一端与放电腔固定连接，另一端与第二固定装置连接，第一固定装...

本发明涉及激光器领域，具体涉及一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置。准分子激光器内多个气体单元、水路单元上对应的气体流量传感器、水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起并接到另外一个光电耦合器上，...

本实用新型的用于准分子激光器的镜片调整装置，包括驱动机构、定位导向底座、校准模块组件、若干定位导柱、2个行程开关；行程开关安装于定位导向底座的限位滑轨的上下两侧；定位导柱固定于所述定位导向底座上，校准模块组件套接于定位导柱；校准模块组件...

本发明涉及激光器技术领域，特别涉及一种基于准分子激光器的硬件互锁控制系统及其方法；本发明通过硬件互锁管理单元接收传感器发送至的腔体开关信号同时接收光刻机发送至的控制信号，硬件互锁管理单元向配电管理单元发送通道开关信号同时向主控器发送互锁...

本实用新型提供一种准分子激光器的温度控制装置，该装置终端与水冷厂务主控器和水冷PID控制模块通过CAN总线进行通讯连接从而提高系统抗电磁干扰能力；通过终端有效实时对水冷厂务主控器和水冷PID控制模块采集的厂务水信息和温控信息进行信息存储...

本申请涉及光学元件的技术领域，具体公开一种可自动伸缩的挠性联轴器结构，包括联轴器主体、圆柱压缩弹簧和调整杆；联轴器主体具有贯通第一端面和第二端面的通孔，靠近第二端面的圆周面上设置有螺旋形凹槽；圆柱压缩弹簧设置在通孔内；调整杆从联轴器主体...

本实用新型提供的光谱稳定的线宽调整装置及系统，通过线阵CCD捕捉光束中心位置及角度的变化信息，通过调节第一棱镜的角度及位置对线宽度及位置的变化进行补偿，从而实现激光光谱的稳定输出，本装置结构小巧紧凑、操作简便，可通过软件编写实现自动调整...

本发明涉及能量探测领域，具体涉及一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路。该能量探测电路首先光电二极管对193nm光刻机中准分子激光器的光信号进行探测得到电流信号，并通过有源滤波电路得到单个脉冲的电压信号，消除光电二极管电流...

本申请涉及棱镜固定装置技术领域，具体公开一种无转动摩擦的带防护结构的棱镜压紧固定装置，包括支撑组件和压紧组件；支撑组件包括位于棱镜上方的悬臂，所述悬臂上设置有横向限位孔及纵向限位孔；压紧组件包括压杆和转轮，所述压杆位于横向限位孔中，悬臂...

本发明涉及准分子激光器技术领域，提供了一种窄线宽准分子激光系统和用于该准分子激光系统的线宽压缩并整形的方法。该系统包括输出耦合镜和激光腔、柔性变焦模块、扩束模块、以及与该扩束模块组成littrow结构的光栅，该方法为先根据准分子激光的波...

本发明涉及激光技术领域，提供了一种基于精密转台的波长调谐装置，该装置包括：狭缝、棱镜扩束模块、精密转台以及设于该精密转台上的高反射镜、衍射光栅；其中，激光束经狭缝后至棱镜扩束模块进行一维扩束，以形成扩束激光束；扩束激光束经高反射镜进行反...

本实用新型提供的准分子激光器电极结构包括阳极、阴极、用于支撑阳极的导电支撑结构、用于支撑阴极的绝缘件、腔壁、绝缘件设置在腔壁上，阴极和阳极相对设置，阴极与腔壁具有绝缘间隔，导电支撑结构与腔壁电性连接，阳极具有安装座，安装座与导电支撑结构...

本实用新型提出的一种线宽压窄模块，包括密闭腔、与所述密闭腔连通的进气管和出气管，所述进气管上设有第一阀门，所述出气管设有第二阀门，所述密闭腔内容纳有用于调整激光线宽的棱镜组、用于承载所述棱镜组的棱镜组平台、光栅以及吹气管，所述吹气管与所...