一种用于准分子激光器的镜片调整装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的用于准分子激光器的镜片调整装置，包括驱动机构、定位导向底座、校准模块组件、若干定位导柱、2个行程开关；行程开关安装于定位导向底座的限位滑轨的上下两侧；定位导柱固定于所述定位导向底座上，校准模块组件套接于定位导柱；校准模块组件设有限位导引结构，限位导引结构一端与驱动机构固定连接，另一端与所述定位导向底座的限位滑轨配合；驱动机构驱动校准模块组件沿所述定位导柱上下移动，当限位导引结构触碰行程开关时驱动机构停止驱动。本实用新型专利技术实现了准分子激光器在进行光路校准时，校准棱镜能通过电动调整的方式移入移出，节省了校准棱镜调节的时间和精力，且校准棱镜位置能精确控制，处于工作位置时牢固可靠。

A lens adjusting device for excimer laser

The lens adjusting device for excimer laser of the utility model includes a driving mechanism, a positioning guide base, a calibration module assembly, a number of positioning guide pillars and two travel switches; the travel switch is installed on the upper and lower sides of the limit slide rail of the positioning guide base; the positioning guide pillar is fixed on the positioning guide base, and the calibration module assembly is sleeved on the positioning guide pillar; the calibration module group The device is provided with a limit guide structure, one end of which is fixedly connected with the driving mechanism and the other end is matched with the limit slide rail of the positioning guide base; the driving mechanism drives the calibration module assembly to move up and down along the positioning guide pillar, and the driving mechanism stops driving when the limit guide structure touches the travel switch. The utility model realizes that when the excimer laser is in the optical path calibration, the calibration prism can be moved in and out by means of electric adjustment, saving the time and energy of the adjustment of the calibration prism, and the position of the calibration prism can be accurately controlled, which is firm and reliable when it is in the working position.

【技术实现步骤摘要】
一种用于准分子激光器的镜片调整装置
本技术涉及激光
，具体涉及一种用于准分子激光器的镜片调整装置。
技术介绍
在准分子激光器的光路模块中，需要用到光路校准模块。当需要校准时，将校准棱镜移入光路进行光路校准；不需要进行校准时，将校准棱镜移出光路。目前该校准棱镜的移入、移出光路一般采用手动调节的方式，但是手动调节费时费力，并且调节精度也不好控制。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的上述缺陷，提供一种用于准分子激光器的镜片调整装置，实现准分子激光器在进行光路校准时，校准棱镜能通过电动调整进行光路中，调节精度高，且校准棱镜的位置能精确控制。本技术提供了一种用于准分子激光器的镜片调整装置，包括驱动机构、定位导向底座、校准模块组件、若干定位导柱、2个行程开关；所述行程开关安装于所述定位导向底座的限位滑轨的上下两侧，用于约束所述校准模块组件的上下行程；所述定位导柱固定于所述定位导向底座上，所述校准模块组件套接于所述定位导柱；所述校准模块组件设有限位导引结构，所述限位导引结构一端与所述驱动机构固定连接，另一端与所述定位导向底座的限位滑轨配合；所述驱动机构驱动所述校准模块组件沿所述定位导柱上下移动，当所述限位导引结构触碰所述行程开关时所述驱动机构停止驱动。进一步地，所述驱动机构包括电机、传动轴、带水平连接接口的从动转换器；所述电机固定于所述定位导向底座上，所述传动轴安装于电机上，所述电机带动所述传动轴转动，所述从动转换器安装于所述传动轴上，所述水平连接接口与所述限位导引结构一端固定连接，所述从动转换器用于将转动转换为所述校准模块组件的上下移动。进一步地，所述电机为旋转电机，所述传动轴为丝杆，所述从动转换器为螺母块。进一步地，所述驱动机构为直线电机，直接驱动所述校准模块组件上下移动。进一步地，所述电机固定连接于所述定位导向底座。进一步地，所述限位导引结构为两个拉伸铆钉。进一步地，在所述定位导向底座和所述校准模块组件的底部上对应预留有若干对定位孔，在所述校准模块组件的底部的定位孔内嵌入钢球，当所述限位导引结构触碰到下方的所述行程开关时，所述校准模块组件通过所述钢球精确定位于所述定位导向底座上。进一步地，所述定位导向底座上还压入若干磁铁，在所述校准模块组件的底部对应位置同样装有磁铁，当所述限位导引结构触碰到下方的所述行程开关时，每对磁铁相互吸引，使得校准模块组件精确定位于所述定位导向底座上。进一步地，所述定位导柱的数量不少于2根，不多于6根。进一步地，所述定位导柱过盈装配于所述定位导向底座上。本技术的有益效果在于提供了用于准分子激光器的镜片调整装置，实现准分子激光器在进行光路校准时，校准棱镜能通过电动调整进行光路中，调节精度高，且校准棱镜位置能精确控制，处于工作位置时牢固可靠；在不需要进行光路校准时，校准棱镜能通过电动调整移出光路，通过电动调整的方式节省了校准棱镜调节的时间和精力。附图说明图1是本技术一实施例的用于准分子激光器的镜片调整装置结构示意图；图2是图1镜片调整装置中校准模块组件的结构示意图；图3是图1镜片调整装置中校准模块组件与定位导向底座间通过钢球定位结构示意图；附图标记说明：1-驱动机构；11-电机；12-传动轴；13-从动转换器；131-水平连接接口；2-定位导向底座；21-限位滑轨；3-校准模块组件；31-限位导引结构；32-棱镜安装座；33-校准棱镜；34-十字标靶；35-荧光镜片；36-定位孔；4-定位导柱；5-行程开关；6-钢球。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不限定本技术。为了使本揭示内容的叙述更加详尽与完备，下文针对本技术的实施方式与具体实施例提出了说明性的描述；但这并非实施或运用本技术具体实施例的唯一形式。实施方式中涵盖了多个具体实施例的特征以及用以建构与操作这些具体实施例的方法步骤与其顺序。然而，亦可利用其它具体实施例来达成相同或均等的功能与步骤顺序。如图1所示，为本技术一实施例的用于准分子激光器的镜片调整装置结构示意图，包括驱动机构1、定位导向底座2、校准模块组件3、若干定位导柱4、2个行程开关5；所述行程开关5安装于所述定位导向底座2的限位滑轨21的上下两侧，用于约束所述校准模块组件3的上下行程；所述定位导柱4固定于所述定位导向底座2上，所述校准模块组件3套接于所述定位导柱4；所述校准模块组件3设有限位导引结构31，所述限位导引结构31一端与所述驱动机构1固定连接，另一端与所述定位导向底座2的限位滑轨21配合；所述驱动机构1驱动所述校准模块组件3沿所述定位导柱4上下移动，当所述限位导引结构31触碰所述行程开关5时所述驱动机构1停止驱动。在本实施例中，所述定位导柱4的数量为2根，所述定位导柱4过盈装配于所述定位导向底座2上。在其他一些实施例中，所述定位导柱4的数量可以为2、3、4、5、6根。在本实施例中，所述驱动机构1包括电机11、传动轴12、带水平连接接口131的从动转换器13；所述电机11固定于所述定位导向底座2上，所述传动轴12安装于电机11上，所述电机11带动所述传动轴12转动，所述从动转换器13安装于所述传动轴12上，所述水平连接接口131与所述限位导引结构31一端固定连接，所述从动转换器13用于将转动转换为所述校准模块组件3的上下移动。优选地，所述电机11为旋转电机，所述传动轴12为丝杆，所述从动转换器13为螺母块。在其他一些实施例中，所述驱动机构1也可为直线电机，直线电机固定连接于所述定位导向底座2，直接驱动所述校准模块组件3上下移动。如图2所示，为图1镜片调整装置中校准模块组件的结构示意图，所述校准模块组件3包括棱镜安装座32、校准棱镜33、十字靶标34、荧光镜片35、限位导引结构31，所述校准棱镜33固定安装于所述棱镜安装座32上，所述十字靶标34设有2个，固定安装于所述棱镜安装座32上，且位于所述荧光镜片35的下方。所述校准棱镜33及所述十字靶标34均安装在所述棱镜安装座32上，可以保证校准棱镜33及所述十字靶标34的相对位置准确。所述校准棱镜33在驱动机构1的驱动下向下移动，当所述限位导引结构31触碰到下方的行程开关5，驱动机构1停止驱动，所述校准棱镜33不再向下移动，此时校准棱镜33处于校准光路中，为工作模式；所述校准棱镜33在驱动机构1的驱动下向上移动，当所述限位导引结构31触碰到上方的行程开关5，驱动机构1停止驱动，所述校准棱镜33不再向上移动，此时校准棱镜33移出校准光路中，为非工作模式。在本实施例中，所述限位导引结构31为两个拉伸铆钉。如图3所示，为图1镜片调整装置中校准模块组件与定位导向底座间通过钢球定位结构示意图。在本实施例中，在所述定位导向底本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于准分子激光器的镜片调整装置，其特征在于，包括驱动机构、定位导向底座、校准模块组件、若干定位导柱、2个行程开关；/n所述行程开关安装于所述定位导向底座的限位滑轨的上下两侧，用于约束所述校准模块组件的上下行程；所述定位导柱固定于所述定位导向底座上，所述校准模块组件套接于所述定位导柱；所述校准模块组件设有限位导引结构，所述限位导引结构一端与所述驱动机构固定连接，另一端与所述定位导向底座的限位滑轨配合；所述驱动机构驱动所述校准模块组件沿所述定位导柱上下移动，当所述限位导引结构触碰所述行程开关时所述驱动机构停止驱动。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于准分子激光器的镜片调整装置，其特征在于，包括驱动机构、定位导向底座、校准模块组件、若干定位导柱、2个行程开关；
所述行程开关安装于所述定位导向底座的限位滑轨的上下两侧，用于约束所述校准模块组件的上下行程；所述定位导柱固定于所述定位导向底座上，所述校准模块组件套接于所述定位导柱；所述校准模块组件设有限位导引结构，所述限位导引结构一端与所述驱动机构固定连接，另一端与所述定位导向底座的限位滑轨配合；所述驱动机构驱动所述校准模块组件沿所述定位导柱上下移动，当所述限位导引结构触碰所述行程开关时所述驱动机构停止驱动。


2.根据权利要求1所述的用于准分子激光器的镜片调整装置，其特征在于，所述驱动机构包括电机、传动轴、带水平连接接口的从动转换器；所述电机固定于所述定位导向底座上，所述传动轴安装于电机上，所述电机带动所述传动轴转动，所述从动转换器安装于所述传动轴上，所述水平连接接口与所述限位导引结构一端固定连接，所述从动转换器用于将转动转换为所述校准模块组件的上下移动。


3.根据权利要求2所述的用于准分子激光器的镜片调整装置，其特征在于，所述电机为旋转电机，所述传动轴为丝杆，所述从动转换器为螺母块。


4.根据权利要求1所述的用于准分子激光器的镜片调整装置，其特征在于，所述驱动机构...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈文斌，丁金滨，刘斌，江锐，杨军红，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11