形成低电阻线的方法和使用该方法制造薄膜晶体管的方法技术

本发明专利技术提供形成低电阻线的方法和使用该方法制造薄膜晶体管的方法。形成线的方法包括：在基底层上沉积金属层；通过去除所述金属层的一部分来暴露所述基底层的一部分；通过采用所述金属层作为掩模来去除所述基底层的暴露部分，在所述基底层中形成凹槽；在所述基底层的凹槽中形成籽晶层；和通过化学镀方式或电镀方式，在所述基底层的凹槽中形成的籽晶层上镀上镀层材料，以形成由所述籽晶层和镀层构成的线。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供。形成线的方法包括：在基底层上沉积金属层；通过去除所述金属层的一部分来暴露所述基底层的一部分；通过采用所述金属层作为掩模来去除所述基底层的暴露部分，在所述基底层中形成凹槽；在所述基底层的凹槽中形成籽晶层；和通过化学镀方式或电镀方式，在所述基底层的凹槽中形成的籽晶层上镀上镀层材料，以形成由所述籽晶层和镀层构成的线。【专利说明】
本专利技术涉及，尤其涉及形成低电阻金属栅极和数据布线的方法及使用该方法制造薄膜晶体管的方法。
技术介绍
已开发出了与阴极射线管相比具有减小的重量和体积的各种平板显示器。平板显示器(FPD)包括液晶显示器(IXD)、场致发射显示器(FED)、等离子体显示面板(PDP)、有机发光二极管(OLED)显示器等。在平板显示器中，因为液晶显示器可以制成轻而薄以及可在低功耗下驱动，所以液晶显示器的应用范围很宽。此外，OLED显示器可自发光，因而具有等于或小于约I毫秒的快速响应时间、低功耗和宽视角。因此，OLED显示器被认为是下一代显示器。液晶显示器和OLED显示器通过无源矩阵方法或使用薄膜晶体管的有源矩阵方法驱动。有源矩阵方法(其中薄膜晶体管本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种形成线的方法，该方法包括：在基底层上沉积金属层；通过去除所述金属层的一部分来暴露所述基底层的一部分；通过采用所述金属层作为掩模来去除所述基底层的暴露部分，在所述基底层中形成凹槽；在所述基底层的凹槽中形成籽晶层；和通过化学镀方式或电镀方式，在所述基底层的凹槽中形成的籽晶层上镀上镀层材料，以形成由所述籽晶层和镀层构成的线。。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：权五楠，金海烈，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR