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本发明提供形成低电阻线的方法和使用该方法制造薄膜晶体管的方法。形成线的方法包括：在基底层上沉积金属层；通过去除所述金属层的一部分来暴露所述基底层的一部分；通过采用所述金属层作为掩模来去除所述基底层的暴露部分，在所述基底层中形成凹槽；在所述基...
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