【技术实现步骤摘要】
一种合金炉炉口双冷却水法兰
本技术涉及水循环冷却法兰，尤其涉及一种用于LED行业中的合金炉炉口水冷却的法兰。该合金炉在高温环境下，可对蓝宝石基底的氮化镓进行合金、氧化和退火处理等工艺处理。
技术介绍
现有技术中的LED合金炉通常包括气源系统、加热系统、净化工作台、推拉舟和控制系统等。其中，加热系统的石英管的固定方式以及炉口处内部热量与外界的隔绝成为必须考虑的问题。目前，国内的设备都是以一层固定法兰将石英管固定的。现有技术的不足和缺陷:1、一层固定法兰无法将石英管包住，导致其头部外露，这样石英管很容易被打碎；2、固定法兰并无过冷却水的结构，这样炉膛内的热量，会通过炉口向外界散发，导致炉口处温度很高。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是:设计一种新的石英管固定方式，把石英管保护起来，免受外界磕碰而打碎；设计新的过冷却水结构，使炉口处的温度大大的降低。为解决所述的技术问题，本技术提供一种合金炉炉口双冷却水法兰，其特征在于，包括同轴设置的第一、第二过水法兰体，每一法兰体上均设有进水接头和回水接头，该进水接头和回水接头通过设于法兰体内的一循环水道联通；所述第一...
【技术保护点】
一种合金炉炉口双冷却水法兰，其特征在于，包括同轴设置的第一、第二过水法兰体（1、7），每一法兰体上均设有通过一循环水道（4）联通的进水接头（2）和回水接头（3）；所述第一过水法兰体（1）的内径设有一抵住石英管（8）端口的第一密封圈（6）、第二过水法兰体（7）的内径设有一套在石英管外圆壁面上的第二密封圈（5）。
【技术特征摘要】
1.一种合金炉炉口双冷却水法兰，其特征在于，包括同轴设置的第一、第二过水法兰体(1、7)，每一法兰体上均设有通过一循环水道(4)联通的进水接头(2)和回水接头(3);所述第一过水法兰体(I)的内径设有一抵住石英管(8)端口的第一密封圈(6)、第二过水法兰体(7)的内径设有一套在石英管外圆壁面上的第二密封圈(5)。2.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨宝立，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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