【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池制作
，具体地说是一种涉及PECVD工序石墨舟处理效果的方法。
技术介绍
在晶硅太阳能电池的传统生产工艺中，PECVD工序主要是为了降低电池片表面的反射率和强钝化效果等作用。而在镀膜过程中，石墨舟舟片作为电极，与硅片紧密接触，参与整个镀膜过程。而随着石墨舟的使用次数越来越多，会在石墨舟舟片沉积一层氮化硅薄膜，使沉积在硅片表面的氮化硅薄膜的差异性越来越大。因此，通常情况下当石墨舟使用次数超过120次时，就需要对石墨舟进行拆卸并加以清洗。在晶体硅太阳能电池大规模生产过程中，容易出现镀膜不均或者边缘偏红等现象，严重影响了电池片的外观品质，从而导致出现较多返工片。本专利技术通过对石墨舟的清洗和饱和过程中进行改善，减少镀膜不均和边缘偏红现象的发生，提高电池片镀膜的均匀性和外观品质。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是:改善石墨舟的清洗方式和饱和方式，从而提高电池片镀膜后的膜厚、折射率的均匀性和外观品质。本专利技术所提供的，按如下步骤依次为:(I)将需要清洗的石墨舟拆卸开来，在拆卸石墨舟螺帽时，需避免螺帽与石墨板间的摩擦，以防止石墨板表面的氟氯碳化合物处理遭到破坏；(2)将拆卸后的石墨舟零件放置于浓度10±2%的HF清洗槽中清洗4至6个小时，确保零件能够清洗干净为止；(3)将经过酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中进行漂洗，漂洗时间大致为4至6个小时，确保石墨舟零件无酸液残留为止；(4)将拆卸的石墨舟零件放置在85±5°C的烘箱中烘干6至8小时；(5)将烘干的石墨舟零件组装起来，并放入PECVD设备的炉管内再次烘干I至2...
【技术保护点】
一种提高石墨舟处理效果的方法，其具体工艺步骤为：（1）将需要处理的石墨舟拆卸开来，在拆卸石墨舟螺帽时，需避免螺帽与石墨板间的摩擦，以防止石墨板表面的氟氯碳化合物处理遭到破坏；（2）将拆卸后的石墨舟零件放置于一定浓度的HF清洗槽中清洗数小时，确保零件清洗干净；（3）将酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中漂洗数小时，确保石墨舟零件无酸液残留；（4）将拆卸的石墨舟零件放置在一定温度范围内的烘箱中烘干数小时；（5）将烘干的石墨舟零件组装起来，并放入PECVD设备的炉管中再次烘干；（6）将烘干后的石墨舟直接放入PECVD设备的炉管内预处理数小时。
【技术特征摘要】
1.一种提高石墨舟处理效果的方法，其具体工艺步骤为: (1)将需要处理的石墨舟拆卸开来，在拆卸石墨舟螺帽时，需避免螺帽与石墨板间的摩擦，以防止石墨板表面的氟氯碳化合物处理遭到破坏； (2)将拆卸后的石墨舟零件放置于一定浓度的HF清洗槽中清洗数小时，确保零件清洗干净; (3)将酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中漂洗数小时，确保石墨舟零件无酸液残留; (4)将拆卸的石墨舟零件放置在一定温度范围内的烘箱中烘干数小时； (5)将烘干的石墨舟零件组装起来，并放入PECVD设备的炉管中再次烘干； (6)将烘干后的石墨舟直接放入PECVD设备的炉管内预处理数小时。2.根据权利要求1中所述的一种提高石墨舟处理效果的方法，其特征在于: 步骤(2)中将拆卸后的石墨舟零件...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐杰，
申请(专利权)人：浙江鸿禧光伏科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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