下载一种提高石墨舟处理效果的方法的技术资料

文档序号:9669529

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本发明公开了一种提高石墨舟处理效果的方法,其步骤是:(1)将石墨舟拆卸开来,在拆卸石墨舟螺帽时,需避免螺帽与石墨板间的摩擦,以防止石墨板表面的氟氯碳化合物处理遭到破坏;(2)将拆卸后的石墨舟零件放置于一定浓度的HF清洗槽中清洗数小时,确保零...
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