一种贵金属陶瓷薄膜及其制备方法技术

技术编号:9662725 阅读:113 留言:0更新日期:2014-02-13 18:17
本发明专利技术公开了一种贵金属陶瓷薄膜,所述贵金属陶瓷薄膜包括贵金属合金/陶瓷复合层和陶瓷钝化层,所述复合层中贵金属合金粒子嵌入到陶瓷相中,复合层表面覆盖陶瓷钝化层;所述贵金属合金的基体金属为Ag,掺杂金属为Al或Ti;所述的陶瓷相为Al2O3或SiO2;所述的陶瓷钝化层为Al2O3或SiO2钝化层。本发明专利技术还公开了该贵金属陶瓷薄膜的制备方法,通过多靶磁控共溅射的技术来实施,其制备工艺简单,薄膜成分及其微结构易于调控,所获得的贵金属陶瓷薄膜在紫外和可见光区域具有强的表面等离子体共振吸收特性,并具备优异的耐高温性能。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种贵金属陶瓷薄膜,所述贵金属陶瓷薄膜包括贵金属合金/陶瓷复合层和陶瓷钝化层,所述复合层中贵金属合金粒子嵌入到陶瓷相中,复合层表面覆盖陶瓷钝化层;所述贵金属合金的基体金属为Ag,掺杂金属为Al或Ti;所述的陶瓷相为Al2O3或SiO2;所述的陶瓷钝化层为Al2O3或SiO2钝化层。本专利技术还公开了该贵金属陶瓷薄膜的制备方法,通过多靶磁控共溅射的技术来实施,其制备工艺简单,薄膜成分及其微结构易于调控,所获得的贵金属陶瓷薄膜在紫外和可见光区域具有强的表面等离子体共振吸收特性,并具备优异的耐高温性能。【专利说明】
本专利技术涉及新型金属陶瓷薄膜材料设计及制备领域,特别涉及。
技术介绍
贵金属纳米粒子具有令人感兴趣的特质,比如呈现各种特殊的颜色,生物抗菌性,催化作用和产生表面等离子体共振吸收等特性,因此受到了广泛的关注。在其实际应用当中,贵金属纳米粒子通常会被嵌入到其它基体中形成复合材料,比如嵌入到SiO2或Si3N4等陶瓷相中复合成金属陶瓷材料,这样在保持其金属奇异特性的同时,可以对贵金属粒子实施保护,防止其被氧化或腐蚀,能在各种较为复杂的工况环境下本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种贵金属陶瓷薄膜,其特征在于,所述贵金属陶瓷薄膜包括贵金属合金/陶瓷复合层和陶瓷钝化层,所述复合层中贵金属合金粒子嵌入到陶瓷相中,复合层表面覆盖陶瓷钝化层;所述贵金属合金的基体金属为Ag,掺杂金属为Al或Ti;所述的陶瓷相为Al2O3或SiO2;所述的陶瓷钝化层为Al2O3或SiO2钝化层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:高俊华曹鸿涛俞科涂承君梁凌燕刘志敏
申请(专利权)人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
类型:发明
国别省市:

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