【技术实现步骤摘要】
真空镀膜用可移动式磁力装置
本技术涉及一种真空镀膜用可移动式磁力装置。
技术介绍
目前行业内真空镀膜常用的永磁铁一般均安装在冷却水槽内，位置固定不可移动，由于永磁铁产生的磁力线轰击靶材是垂直的，靶材的消耗一般是靶材垂直对应磁场的那部分，而靶材其他部分则不能得到有效利用，造成靶材耗用量大，浪费严重。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:克服现有技术中之不足，提供一种能使靶材得到充分利用、降低成本的真空镀膜用可移动式磁力装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种真空镀膜用可移动式磁力装置，包括垂直设置的冷却基座、贴合安装在冷却基座侧表面的永磁铁，所述冷却基座上设有滑轨，永磁铁与冷却基座相贴的侧表面具有与滑轨相配的滑槽。进一步地，所述的永磁铁数量为两块，相距滑动设置在冷却基座侧表面。本技术的有益效果是:本技术通过移动永磁铁位置，可均匀地耗用靶材的各个部分，充分发挥靶 材的最大使用效率，降低成本，确保靶材消耗的均匀性。【附图说明】下面结合附图和实施方式对本技术进一步说明。图1是本技术的截面结构示意图。图中1.冷却基座2.永磁铁3.滑轨4.滑槽5.靶材6.移位装置【具体实施方式】现在结合附图对本技术作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。如图1所示的一种真空镀膜用可移动式磁力装置，包括垂直设置冷却基座1，冷却基座I侧表面贴合安装有产生磁场的永磁铁2，永磁铁2数量为两块，相距滑动设置在冷却基座I侧表面，与永磁铁2正面相对并相距设置有经永磁铁2轰击后产生微粒子的靶材5，对应地,靶材5数量也为两...
【技术保护点】
一种真空镀膜用可移动式磁力装置，包括垂直设置的冷却基座（1）、贴合安装在冷却基座（1）侧表面的永磁铁（2），其特征是：所述冷却基座（1）上设有滑轨（4），永磁铁（2）与冷却基座（1）相贴的侧表面具有与滑轨（4）相配的滑槽（5）。
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜用可移动式磁力装置，包括垂直设置的冷却基座(I)、贴合安装在冷却基座(I)侧表面的永磁铁(2)，其特征是:所述冷却基座(I)上设有滑轨(4)，永磁铁(2)与冷却基座...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯新伟，
申请(专利权)人：江苏津通先锋光电显示技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。