罗茨真空泵制造技术

技术编号:4992216 阅读:142 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种罗茨真空泵,用于真空系统中对真空腔体抽取真空度,包括泵体,泵体内具有吸风区和排风区,吸风区和排风区之间设置有通道,所述的通道通过可控阀门实现其开启或关闭,所述的可控阀门为气动式。本实用新型专利技术采用气动式可控阀门来控制吸风区和排风区之间通道的开启或关闭,在前级泵对真空腔体进行预抽气时,通道开通,吸风区的气体可直接经通道通过排风区抽走,从而使得前级泵从大气状态抽到罗茨真空泵启动工作压强的时间较原先大大缩短,由此提高了生产效率。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种罗茨真空泵,包括泵体(1),泵体(1)内具有吸风区(2)和排风区(3),吸风区(2)和排风区(3)之间设置有通道(4),其特征是:所述的通道(4)通过可控阀门(5)实现其开启或关闭。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:冯新伟
申请(专利权)人:江苏津通先锋光电显示技术有限公司
类型:实用新型
国别省市:32[中国|江苏]

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