The utility model provides an enhanced multi electrode dielectric barrier glow discharge plasma brush array device, comprising a gas discharge chamber, insulation material preparation of attachment in the gas discharge chamber on both sides of the wall of the dielectric barrier discharge plate first glow discharge electrode in the gas discharge chamber at the left and right ends on the wall of the pole and the two set, the gas discharge chamber with gas inlet and a plasma outlet, gas discharge chamber near the plasma outlet part is narrow, the plasma outlet for slit shaped, in the narrow cavity structure between the two first class glow discharge electrode is provided with at least one second kinds of glow discharge electrode, glow discharge electrode of glow discharge electrode is formed between each two adjacent. Compared with the prior art, the utility model can realize a larger volume of plasma brush under the lower breakdown voltage and lower total energy consumption, and can rapidly and effectively process a large area object.
【技术实现步骤摘要】
介质阻挡增强型多电极辉光放电低温等离子体刷阵列发生装置
本技术属于等离子体发生装置领域,特别涉及一种介质阻挡增强型多电极辉光放电低温等离子体刷阵列发生装置。
技术介绍
中国专利ZL201120020842.5公开了一种大气压低温等离子体电刷发生装置及阵列组合,包括气体放电腔室,一对辉光放电电极,限流电阻,电源及质量流量控制器。气体放电腔室由陶瓷材料或聚四氟乙烯一类的聚合物制成,具有进气端口和出气端口,出气端口为窄缝状,气体放电腔室内靠近出气端口的部分形成窄缝腔体。两个辉光放电电极的放电端位于窄缝腔体处,与限流电阻一起串联在电源的两端,电源用于提供电压,限流电阻用于限制两个辉光放电电极之间的电流大小,避免辉光放电转变为弧光放电。该装置结构简单,操作安全,但是其能耗、击穿电压以及产生的焦耳热都较高。为了对上述装置的不足进行改进,申请号为201210006023.4的中国专利申请公开了一种介质阻挡放电增强型低温等离子体电刷发生装置,在进气端口与辉光放电放电电极之间增加了一对介质阻挡放电平板电极对工作气体进行预电离,采用交流电源为平板电极提供放电电压。工作时,工作气体从进气端口流入气体放电腔室,流经平板电极所对应的区域时,被介质阻挡放电平板电极施加的电压预电离,接着再流经窄缝腔体,两个辉光放电电极上施加的电压再次将预电离的工作气体激发,形成稳定的辉光放电,工作气体等离子体化。等离子体气流快速从气体放电腔室的出口端喷出,向外延伸成刷状稳定的低温等离子体射流,形成大气压低温等离子体刷。虽然介质阻挡放电平板电极的预处理使得该改进的等离子体电刷发生装置比中国专利Z ...
【技术保护点】
一种介质阻挡增强型多电极辉光放电低温等离子体刷阵列发生装置,包括由绝缘材料制备的气体放电腔室、一对附着在气体放电腔室上下两侧壁上的介质阻挡放电平板电极和两个位于介质阻挡放电平板电极下游设置在气体放电腔室左右两端壁上的第一类辉光放电电极,所述气体放电腔室具有工作气体进口和等离子体出口,气体放电腔室内靠近等离子体出口的部分为窄缝结构,等离子体出口为窄缝口,其特征在于:在所述两个位于气体放电腔室左右两端壁上的第一类辉光放电电极之间窄缝结构的腔体处设有至少一个第二类辉光放电电极,每两个相邻的辉光放电电极之间构成辉光放电电极对,形成辉光放电电场。?
【技术特征摘要】
1.一种介质阻挡增强型多电极辉光放电低温等离子体刷阵列发生装置,包括由绝缘材料制备的气体放电腔室、一对附着在气体放电腔室上下两侧壁上的介质阻挡放电平板电极和两个位于介质阻挡放电平板电极下游设置在气体放电腔室左右两端壁上的第一类辉光放电电极,所述气体放电腔室具有工作气体进口和等离子体出口,气体放电腔室内靠近等离子体出口的部分为窄缝结构,等离子体出口为窄缝口,其特征在于:在所述两个位于气体放电腔室左右两端壁上的第一类辉光放电电极之间窄缝结构的腔体处设有至少一个第二类辉光放电电极,每两个相邻的辉光放电电极之间构成辉光放电电极对,形成辉光放电电场。2.根据权利要求1所述介质阻挡增强型多电极辉光放电低温等离子体刷阵列发生装置,其特征在于相邻两个辉光放电电极之间的距离以能保证辉光放电电极之间的工作气体被击穿形成辉光放电为限。3.根据权利要求2所述介质阻挡增强型多电极辉光放电低温等离子体刷阵列发生装置,其特征在于所述辉光放电电极沿垂直于工作气体流动方向的方向均匀地分布在窄缝结构腔体处。4.根据权利要求3所述介质阻挡增强型多电极辉光放电低温等离子体刷阵列发生装置,其特征在于所述辉光放电电极的放电端为平面或针状。5.根据权利要求4所述介...
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