【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种准单晶铸锭炉的坩埚平台升降机构，包括坩埚平台、石墨立柱、钢立柱、托板、升降装置、传动软轴和电机，所述坩埚平台底面设有石墨立柱，石墨立柱向下伸出下保温体外后与钢立柱连接，钢立柱向下伸出炉体后与水平设置的托板固定连接，炉体下固定设有升降装置，升降装置与托板连接，托板上设有传动软轴及电机，升降装置由传动软轴连接带动，传动软轴由电机连接带动。本技术结构合理，使坩埚平台在铸锭炉保温体内可以上下移动，满足了准单晶硅铸锭生产所需要的工艺要求。【专利说明】准单晶铸锭炉的坩埚平台升降机构
本技术属于准单晶铸锭炉
，特别涉及铸锭炉中坩埚平台的升降机构。
技术介绍
准单晶是在多晶硅铸锭炉上采用铸造结晶的方式，经过一系列先进的工艺流程所生产出的具有高转换率的准单晶硅片。其主要工艺是通过在准单晶炉内石英坩埚的底部放置籽晶，并在真空状态下，采用精确分段控温，保证硅料融化时籽晶部分融化，由此长出单晶。目前国内的多晶硅铸锭炉主要是GT的结构，是坩埚、平台不动，上发热体、侧发热体及上保温体上下移动。这种结构对多晶硅铸锭炉可以满足工艺要求，但在生产准单晶硅...
【技术保护点】
一种准单晶铸锭炉的坩埚平台升降机构，其特征在于：包括坩埚平台、石墨立柱、钢立柱、托板、升降装置、传动软轴和电机；所述坩埚平台底面设有石墨立柱，石墨立柱向下伸出下保温体外后与钢立柱连接，钢立柱向下伸出炉体后与水平设置的托板固定连接；炉体下固定设有升降装置，升降装置与托板连接；托板上设有传动软轴及电机，升降装置由传动软轴连接带动，传动软轴由电机连接带动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：水川，许柏，
申请(专利权)人：安徽大晟新能源设备科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。