【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种双等离子体离子源，其特征在于，所述双等离子体离子源的中间电极的锥形的一端的顶部设有多个中间电极孔，所述多个中间电极孔的半径位于0.2mm?0.3mm范围内，其圆心位于以所述中间电极的锥形的一端的顶部中心为圆心、半径为0.5mm的圆上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：龙涛，曾小辉，王培智，包泽民，陶强，范润龙，
申请(专利权)人：中国地质科学院地质研究所，
类型：实用新型
国别省市：
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