梳状结构的放电电离源制造技术

技术编号:9172089 阅读:140 留言:0更新日期:2013-09-19 21:13
一种梳状结构的放电电离源,包括电源、正放电电极和负放电电极,所述电源的正负极分别与相对设置的所述正放电电极和负放电电极连接;所述正放电电极和负放电电极之间交替相对设置有正极导流板和负极导流板,所述正极导流板仅一端与所述正放电电极连接;所述负极导流板仅一端与所述负放电电极连接;所述正极导流板和所述负极导流板之间形成连贯的通道。本发明专利技术在一个较小的结构上就能大大增加放电面积,提高了放电气体流量,降低了外加电压,减小对其他器件影响;提供一种采用MEMS技术加工而成的微型化的离子源。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种梳状结构的放电电离源,包括电源、正放电电极和负放电电极,所述电源的正负极分别与相对设置的所述正放电电极和负放电电极连接;其特征在于:所述正放电电极和负放电电极之间交替相对设置有正极导流板和负极导流板,所述正极导流板仅一端与所述正放电电极连接;所述负极导流板仅一端与所述负放电电极连接;所述正极导流板和所述负极导流板之间形成连贯的通道。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:李灵锋汪小知李鹏
申请(专利权)人:苏州微木智能系统有限公司
类型:发明
国别省市:

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