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本实用新型公开了一种双等离子体离子源及设备，该双等离子体离子源的中间电极的锥形的一端的顶部设有多个中间电极孔，该多个中间电极孔的半径位于0.2mm-0.3mm范围内，其圆心位于以该中间电极的锥形的一端的顶部中心为圆心、半径为0.5mm的圆上...
该专利属于中国地质科学院地质研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国地质科学院地质研究所授权不得商用。

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