【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种晶圆电镀的挂具，其特征在于，包括上盖、下板、金属导电环，所述上盖内壁设有内螺纹；所述下板上设有晶圆槽，所述晶圆槽的中部开设有电镀孔；所述晶圆槽的外壁设有外螺纹，与所述内螺纹啮合；所述晶圆槽的内壁与所述电镀孔之间设置有平台，所述金属导电环设置于该平台上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王江锋，陈建平，汪文珍，杨明，饶荣承，
申请(专利权)人：深圳市创智成功科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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