一种半导体芯片制造技术

技术编号:9448057 阅读:88 留言:0更新日期:2013-12-12 23:36
一种半导体芯片,包括单晶片,在单晶片上用热氧化法生长一层SiO2绝缘隔离层膜,在SiO2绝缘隔离层膜上沉积生长一层多晶硅膜,在多晶硅膜上镀铝后通过刻蚀工艺形成与外电极连接所需的焊盘,在单晶片的中部设有半导体桥区,当向半导体芯片施加一快速电脉冲时,具有负电阻温度系数的硅条使电流急剧增加,导致半导体桥区迅速气化,接着电流通过硅蒸汽产生热等离子体,以微对流的方式渗入火炸药中使之燃烧或爆炸,本实用新型专利技术具有起爆后作用时间短,且作用时间精度较高。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种半导体芯片,包括单晶片(4),其特征在于:在单晶片(4)上用热氧化法生长一层SiO2绝缘隔离层膜(3),在SiO2绝缘隔离层膜(3)上沉积生长一层多晶硅膜(2),在多晶硅膜(2)上镀铝膜,通过刻蚀工艺形成与外电极连接所需的焊盘(1),在单晶片(4)的中部设有半导体桥区(5)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李志锋文冲
申请(专利权)人:西安恒亮电子科技有限责任公司
类型:实用新型
国别省市:

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