一种对称杠杆结构的MEMS线性可变电容器制造技术

本发明专利技术是一种对称杠杆结构的MEMS线性可变电容器，包括介质衬底、上极板、下驱动电极、电容下极板及4个对上极板起支撑和固定作用的锚点，上极板的两端部分与下驱动电极相应，中间部分与电容下极板相应，两端部分在下驱动电极的作用下加速向下运动，带动中间部分向上运动，使上极板和电容下极板之间的电容线性减小，电容下极板较厚，下驱动电极较薄，可使可调电容器的初始电容值大、电容变化范围大。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种对称杠杆结构的MEMS线性可变电容器，包括：介质衬底（1）；设置在介质衬底（1）上的下驱动电极（3）、电容下极板（4）和锚点（5）；以及，设置在锚点（5）上的上极板（2），锚点（5）对上极板（2）起支撑和固定作用，上极板（2）分为中间部分和两端部分，中间部分与电容下极板（4）对应，做上下运动，两端部分分别与一个下驱动电极（3）对应，以锚点（5）为支点做杠杆运动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘泽文，赵晨旭，李玲，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：