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本发明是一种对称杠杆结构的MEMS线性可变电容器，包括介质衬底、上极板、下驱动电极、电容下极板及4个对上极板起支撑和固定作用的锚点，上极板的两端部分与下驱动电极相应，中间部分与电容下极板相应，两端部分在下驱动电极的作用下加速向下运动，带动中...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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