【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种磷化铟基平面光波光路波导芯片的研磨方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1?取一块玻璃块（1），在玻璃块（1）的一个面上开设用于夹持待研磨的波导芯片（4）的定位腔（2），且所述定位腔（2）与待研磨的波导芯片（4）相匹配，在玻璃块（1）再开设固定腔（3）且使固定腔（3）与定位腔（2）相通，步骤2?将待研磨的波导芯片（4）放置在定位腔（2）内，在向固定腔（3）中注入光学蜡（5），使光学蜡（5）充满定位腔（2）及固定腔（3），待光学蜡（5）凝固后，波导芯片（4）与光学蜡（5）结合成一整体，形成固定有波导芯片（4）的玻璃块，步骤3?将步骤2得到的固定有波导芯片（4）的玻璃块安装在研磨机的载料盘上，启动研磨机，对波导芯片（4）进行研磨，研磨完毕后，得到更加光亮平整的端面，再将研磨后的波导芯片（4）从玻璃块（1）拆下，并用超声波和清洗液对研磨后的波导芯片（4）进行清洗。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘旭，闫洪昊，孙小菡，蒋卫锋，胥爱民，朱重北，
申请(专利权)人：东南大学，南京华脉科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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