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本发明公开了一种磷化铟基平面光波光路波导芯片的研磨方法及夹具。方法：取一块玻璃块，在玻璃块的一个面上开设用于夹持待研磨的波导芯片的定位腔，且所述定位腔与待研磨的波导芯片相匹配，在玻璃块再开设固定腔且使固定腔与定位腔相通，将待研磨的波导芯片放...
该专利属于东南大学;南京华脉科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学;南京华脉科技有限公司授权不得商用。

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