一种平面波导装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种平面波导装置的制造方法，包括以下步骤：a.在波导的表面上形成第一组膜层区段，该第一组膜层区段中的相邻区段之间彼此隔开；b.使用掩膜对该第一组膜层区段进行曝光，以固化该第一组膜层区段的所需部分；c.去除该第一组膜层区段中未经固化的边缘部分；d.在该第一组膜层区段中的至少部分相邻区段之间形成第二组膜层区段；以及e.使用掩膜对该第二组膜层区段进行曝光，以固化该第二组膜层区段。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学器件的制造方法，尤其涉及一种平面波导装置的制造方法。
技术介绍
大屏幕显示器广泛应用在各种商业和日用领域中。例如，在本案申请人已提出的中国专利申请第201210172215.2号中报道了一种平面波导显示器面板，如图8所示。该平面波导显示器面板800主要包括平直波导，来自投影系统803的光入射到该平直波导一端的光线以全反射的方式进行传播，沿光从传导区域801进入屏幕区域802的光路的方向在屏幕区域802中划分出多个区段(例如图8中的区段1、2、3、4)；传播到被选中的像素点后，该像素点将该平直波导内的光线从该位置发射出去，但，这类平直波导显示器面板的问题在于：其表面各区段制造较为困难，区段交接处易出现接缝影响显示效果，或工艺复杂，不利于大批量生产。
技术实现思路
针对现有技术的上述技术障碍，本案专利技术人创新地在平面波导装置上应用了光刻技术来制造波导表面上涂布多区段膜层的平面波导装置。具体地，本专利技术提供了一种平面波导装置的制造方法，包括以下步骤：a.在波导的表面上形成第一组膜层区段，该第一组膜层区段中的相邻区段之间彼此隔开；b.使用掩膜对该第一组膜层区段进行曝光，以固化该第一组膜层区段的所需部分；c.去除该第一组膜层区段中未经固化的边缘部分；d.在该第一组膜层区段中的至少部分相邻区段之间形成第二组膜层区段；以
及e.使用掩膜对该第二组膜层区段进行曝光，以固化该第二组膜层区段。较佳地，在上述的制造方法中，在该步骤e之后还包括：f.去除该第一组膜层区段和该第二组膜层区段的交接处的突出部分。较佳地，在上述的制造方法中，在该步骤f之后，该制造方法还包括：在该第一组膜层区段中的其余相邻区段之间形成至少一组附加膜层区段，以使该第一组膜层区段、该第二组膜层区段和该至少一组附加膜层区段构成第一层膜层；使用掩膜对该至少一组附加膜层区段进行曝光，以固化该至少一组附加膜层区段；以及去除该至少一组附加膜层区段两侧的交接处的突出部分。较佳地，在上述的制造方法中，在该步骤a和步骤d中的形成包括：直接粘贴固态的膜层材料；利用提拉法、旋涂法、喷涂法、刮涂法、蒸渡法或溅射法涂覆液态的膜层材料；或者通过印刷的方式印刷膜层材料于该波导的表面上。较佳地，在上述的制造方法中，在该步骤a中的第一组膜层区段中的不同区段是分批形成的，且在该步骤d中的第二组或至少一组附加膜层区段中的不同区段是分批形成的。较佳地，在上述的制造方法中，在该步骤a之前还包括：在波导表面制作一初始膜层的步骤，该步骤进一步包括：直接粘贴固态的初始膜层材料；利用提拉法、旋涂法、喷涂法、刮涂法、蒸渡法或溅射法涂覆液态或固态的初始膜层材料；或者通过印刷的方式印刷初始膜层材料于该波导的表面上。较佳地，在上述的制造方法中，在该步骤f之后还包括：g.在该第一层膜层上形成第二层膜层，其中在该步骤g中的形成包括：直接粘贴固态的膜层材料；利用提拉法、旋涂法、喷涂法、刮涂法、蒸渡法或溅射法涂覆液态的膜层材料；或者通过印刷的方式印刷膜层材料于该波导的表面上。较佳地，在上述的制造方法中，在该第一层膜层上进一步制造增透膜，且该制造方法进一步包括在该增透膜上进一步黏贴或涂覆扩散膜、微棱镜膜和/或光增强膜。较佳地，在上述的制造方法中，在该步骤b和步骤e中，该曝光的曝光光线相对于该波导的表面呈一预设角度。较佳地，在上述的制造方法中，在该步骤b和步骤e进一步包括：在曝光的同时通过压印在该第一组膜层区段、该第二组膜层区段或该至少一组附加膜层区段上形成微结构，其中该压印包括将透明压印模具压印于该第一组膜层区段、该第二组膜层区段或该至少一组附加膜层区段上，同时将曝光光线照射至该第一组膜层区段、该第二组膜层区段或该至少一组附加膜层区段。较佳地，在上述的制造方法中，该压印模具和该掩模是一体的。较佳地，在上述的制造方法中，在形成该微结构的同时或者之后，还包括将具有散射或反射功能的功能材料或膜层直接注入或者粘贴至该微结构上。应当理解，本专利技术以上的一般性描述和以下的详细描述都是示例性和说明性的，并且旨在为如权利要求所述的本专利技术提供进一步的解释。附图说明包括附图是为提供对本专利技术进一步的理解，它们被收录并构成本申请的一部分，附图示出了本专利技术的实施例，并与本说明书一起起到解释本专利技术原理的作用。附图中：图1示出了根据本专利技术的只有两组膜层区段的平面波导装置的制造方法的基本步骤的流程图。图2a-图2h示出了根据图1所示的制造方法的各个阶段的结构示图。图3示出了涂布两层增透膜的实施例。图4示出了本专利技术的平面波导装置的另一实施例。图5a-图5b示出了在膜层区段上形成微结构的一个实施例。图6a-图6b示出了在膜层区段上形成微结构的另一实施例。图7a-图7c示出了在微结构上形成功能膜层的过程。图8示出了适于采用本专利技术的制造方法的平面波导装置。具体实施方式现在将详细参考附图描述本专利技术的实施例。现在将详细参考本专利技术的优选实施例，其示例在附图中示出。在任何可能的情况下，在所有附图中将使用相同的标记来表示相同或相似的部分。此外，尽管本专利技术中所使用的术语是从公知公用的术语中选择的，但是本专利技术说明书中所提及的一些术语可能是申请人按他或她的判断来选择的，其详细含义在本文的描述的相关部分中说明。此外，要求不仅仅通过所使用的实际术语，而是还要通过每个术语所蕴含的意义来理解本专利技术。图1示出了根据本专利技术的只有两组膜层区段的平面波导装置的制造方法的基本步骤的流程图。以下结合图2a-图2h来详细讨论图1所示的该平面波导装置的制造方法100。首先，根据步骤101，在图2a所示的波导201的表面上形成第一组膜层区段202。其中，该第一组膜层区段202中的相邻区段(例如图2a中的区段0、区段2和区段4)之间彼此隔开。较佳地，可以用刮涂刀203将第一组膜层区段202涂布于波导201的表面。例如，可以使用专用刮涂机，包含数把刮涂刀，每把刮涂刀装有不同介质材料，负责在不同区段同时涂覆不同介质(一般刮涂的介质厚度在0.5-50um之间视具体应用确定)。较佳地，步骤101中的第一组膜层区段202可以通过在波导201的表面上直接粘贴固态的膜层材料的方式，利用提拉法、旋涂法、喷涂法、刮涂法、蒸渡法或溅射法涂覆液态或非液态的膜层材料的方式，或者通过印刷(例如丝网印刷)的方式印刷膜层材料于该波导的表面上的方式而形成。接着，根据步骤102，使用掩膜204对该第一组膜层区段202进行曝光，以固化该第一组膜层区段202的所需部分205，如图2b和图2c所示。根据步骤103，去除该第一组膜层区段202中未经固化的边缘部分206，如图2c所示，以得到图2d所示的结构。接着，根据步骤104，在图2d所示的结构的基础上，进一步在该第一组膜层区段202中的相邻区段之间形成第二组膜层区段207，诸如图2d中的区段1和区段3。例如，在图2e所示的优选实施例中，可以使用刮涂刀203将第二组膜层区段207涂布于波导201的表面。与以上第一组膜层区段202相类似的，步骤104中的第二组膜层区段207也可以通过在波导201的表面上直接粘贴固态的膜层材料的方式，利用提拉法、旋涂法、喷涂法、刮涂法、蒸渡法或溅射法涂覆液态或非液态的膜层材料的方式，或者通过印刷(例如丝网印刷)的方式印刷膜层材本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平面波导装置的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：a.在波导的表面上形成第一组膜层区段，所述第一组膜层区段中的相邻区段之间彼此隔开；b.使用掩膜对所述第一组膜层区段进行曝光，以固化所述第一组膜层区段的所需部分；c.去除所述第一组膜层区段中未经固化的边缘部分；d.在所述第一组膜层区段中的至少部分相邻区段之间形成第二组膜层区段；以及e.使用掩膜对所述第二组膜层区段进行曝光，以固化所述第二组膜层区段。

【技术特征摘要】
1.一种平面波导装置的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：a.在波导的表面上形成第一组膜层区段，所述第一组膜层区段中的相邻区段之间彼此隔开；b.使用掩膜对所述第一组膜层区段进行曝光，以固化所述第一组膜层区段的所需部分；c.去除所述第一组膜层区段中未经固化的边缘部分；d.在所述第一组膜层区段中的至少部分相邻区段之间形成第二组膜层区段；以及e.使用掩膜对所述第二组膜层区段进行曝光，以固化所述第二组膜层区段。2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述步骤e之后还包括：f.去除所述第一组膜层区段和所述第二组膜层区段的交接处的突出部分。3.如权利要求2所述的制造方法，其特征在于，在所述步骤f之后，该制造方法还包括：在所述第一组膜层区段中的其余相邻区段之间形成至少一组附加膜层区段，以使所述第一组膜层区段、所述第二组膜层区段和所述至少一组附加膜层区段构成第一层膜层；使用掩膜对所述至少一组附加膜层区段进行曝光，以固化所述至少一组附加膜层区段；以及去除所述至少一组附加膜层区段两侧的交接处的突出部分。4.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述步骤a和步骤d中的形成包括：直接粘贴固态的膜层材料；利用提拉法、旋涂法、喷涂法、刮涂法、蒸渡法或溅射法涂覆液态的膜层材
\t料；或者通过印刷的方式印刷膜层材料于所述波导的表面上。5.如权利要求2或3所述的制造方法，其特征在于，在所述步骤a中的第一组膜层区段中的不同区段是分批形成的，且在所述步骤d中的第二组或至少一组附加膜层区段中的不同区段是分批形成的。6.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在所述步骤a之前还包括：在波导表...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨磊，
申请(专利权)人：杨文君，
类型：发明
国别省市：上海;31