一种激光器与平面光波导混合集成结构及其制造方法技术

本发明专利技术涉及一种激光器与平面光波导混合集成结构及其制造方法，该结构包含一热沉(1)、至少一路分立激光器芯片(2)，一平面光波导芯片(3)。所述热沉(1)上制作有支撑凸台(11)，所述热沉(1)上还制作有电极(15)和对准标记(14)，所述电极(15)上还有焊料凸点(13)。所述激光器芯片(2)倒扣在所述热沉的支撑凸台(11)上，形成多路激光器阵列。所述多路激光器阵列与所述平面光波导芯片(3)耦合对准并固定。本发明专利技术降低了多路激光器与平面光波导芯片封装难度，提高封装效率。

【技术实现步骤摘要】
201610329050

【技术保护点】
一种与平面光波导混合集成的激光器组件，其特征在于：包括热沉(1)、多路分立激光器芯片(2)和平面光波导芯片(3)，所述多路分立的激光器芯片(2)倒扣贴装在热沉(1)上形成多路激光器阵列，所述多路激光器阵列与所述平面光波导芯片(3)的输入波导(31)耦合对准并固定；所述热沉(1)上具有高度相同的多个支撑凸台(11)，每个激光器芯片(2)被所述热沉(1)上的支撑凸台(11)支撑，每个激光器芯片(2)的波导在支撑凸台(11)之间悬空。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱虎，翟宇佳，成璇璇，李凤，
申请(专利权)人：武汉光迅科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42