带有应力梁的机械式光调制器制造技术

本发明专利技术涉及一种带有应力梁的机械式光调制器，该光调制器包括具有一个表面的一个基片以及被连接到该基片上的一个调制组件，该调制组件包括一个调制元件和一个顺性梁。该调制组件被构形为用来限制不然就会由该顺性梁内的固有应力引发的该顺性梁朝向一个对置表面的弯曲。本发明专利技术还涉及一种制造空间光调制器的方法，该方法包括以下步骤：形成并释放一个调制组件，该调制组件具有一个调制元件以及一个顺性梁，该顺性梁在一个释放前的位置中形成以便具有一种想要达到的固有应力状态。作为该顺性梁中这种应力状态的一个结果，当释放该顺性梁时，该顺性梁弯曲进入一个休止位置，该休止位置不同于该释放前的位置，其中该休止位置是部分基于该想要达到的固有应力状态。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种光调制器，包括：基片，所述基片具有表面；以及连接到所述基片的调制组件，所述调制组件包括调制元件以及第一顺性梁，所述第一顺性梁包括远离第一锚定件延伸的第一段和朝向所述第一锚定件向回延伸的第二段；其中所述第一段的长度不同于所述第二段的长度。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·L·斯泰恩，T·J·布罗斯尼汉，J·H·吴，M·B·安迪生，R·S·佩恩，J·J·菲乔，N·W·哈古德四世，
申请(专利权)人：皮克斯特隆尼斯有限公司，
类型：发明
国别省市：