【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微电子机械装置，包括：一个第一部件，所述第一部件限定一个平面；以及一个梁，所述梁包括悬挂在所述第一部件上方的至少一个非晶硅层，其中所述梁的垂直于所限定平面的尺度至少是所述梁在所限定的平面内的尺度的1.4倍。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：N·W·哈古德，J·L·斯泰恩，
申请(专利权)人：皮克斯特隆尼斯有限公司，
类型：发明
国别省市：
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