用于作动显示器的方法和装置制造方法及图纸

技术编号:9223045 阅读:152 留言:0更新日期:2013-10-04 17:11
本发明专利技术涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是,该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外,揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种制造显示装置的方法,包括:形成多个薄膜部件,在所述薄膜部件的顶部形成多个机械的光调制器,其中所述多个机械的光调制器包括一个非晶硅层,所述多个机械的光调制器包括多个光调制快门组件,以及所述非晶硅层被蚀刻以形成可移动的快门。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:N·W·哈古德J·L·斯泰恩
申请(专利权)人:皮克斯特隆尼斯有限公司
类型:发明
国别省市:

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