带有应力梁的机械式光调制器制造技术

本发明专利技术涉及一种空间光调制器，该空间光调制器包括具有一个表面的一个基片以及被连接到该基片上的一个调制组件，该调制组件包括一个调制元件和一个顺性梁。该调制组件被构形为用来限制不然就会由该顺性梁内的固有应力引发的该顺性梁朝向一个对置表面的弯曲。本发明专利技术还涉及一种制造空间光调制器的方法，该方法包括以下步骤：形成并释放一个调制组件，该调制组件具有一个调制元件以及一个顺性梁，该顺性梁在一个释放前的位置中形成以便具有一种想要达到的固有应力状态。作为该顺性梁中这种应力状态的一个结果，当释放该顺性梁时，该顺性梁弯曲进入一个休止位置，该休止位置不同于该释放前的位置，其中该休止位置是部分基于该想要达到的固有应力状态。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
总体上，本专利技术涉及成像显示器的领域，具体地说，本专利技术涉及光调制器的设计以 便着手解决在制造这些梁的过程中结合在光调制器中的梁上产生的应力。
技术介绍
由机械式光调制器建造的显示器对于基于液晶技术的显示器是一种有吸引力的 替代方案。机械式光调制器足够快地显示具有良好视角并且具有大的色彩范围和灰度范围 的视频内容。机械式光调制器在投影显示器的应用中已经是成功的，并且最近已被提出用 于直视应用。在本领域中存在着对于快速、明亮、低功率的机械致动的显示器的需要。确切 地讲，对于机械致动的显示器存在一种需要，即这些机械致动的显示器能以高速及低电压 驱动，以便改进图像质量并减少功率消耗。
技术实现思路
根据一个方面，本专利技术涉及一种空间光调制器，该空间光调制器包括一个基片以 及被连接到该基片上的一个调制组件。该调制组件包括一个调制元件以及一个顺性梁。该 调制组件被构形为用来限制原本就会由这种顺性梁内的固有应力引起的顺性梁朝向一个 对置表面的弯曲。在一个实施方案中，弯曲的限制产生了一种想要达到的梁的休止位置。在 另一个实施方案中，该顺性梁的形状被确定为用于促进受该调制组件的构形所限制的该梁 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种空间光调制器，包括：　　一个基片，该基片具有一个表面；以及　　一个连接到该基片上的调制组件，该调制组件包括一个调制元件以及一个顺性梁，其中该调制组件被构形为限制否则会由该顺性梁内的固有应力引起的该顺性梁朝向一个对置表面的弯曲。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：JL斯泰恩，TJ布罗斯尼汉，JH吴，MB安迪生，RS佩恩，JJ菲乔，NW哈古德四世，
申请(专利权)人：皮克斯特罗尼克斯公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]