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本发明涉及一种空间光调制器，该空间光调制器包括具有一个表面的一个基片以及被连接到该基片上的一个调制组件，该调制组件包括一个调制元件和一个顺性梁。该调制组件被构形为用来限制不然就会由该顺性梁内的固有应力引发的该顺性梁朝向一个对置表面的弯曲。本...
该专利属于皮克斯特罗尼克斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过皮克斯特罗尼克斯公司授权不得商用。

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