【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种应力匹配的悬臂梁结构的制造方法，包括：利用第一淀积菜单，淀积第一材料的第一子层；利用与第一淀积菜单不同的第二淀积菜单，淀积第一材料的第二子层，其中第一子层和第二子层相邻设置构成第一材料层；以及淀积与第一材料不同的第二材料的层，其中第二材料层与第一材料层相邻设置，其中，该方法还包括通过调节第一材料层的各子层的厚度以及第二材料层的厚度中至少之一，使得第一材料层和第二材料层之间应力匹配。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：焦斌斌，刘瑞文，李志刚，孔延梅，陈大鹏，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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