电弧式蒸发源制造技术

本发明专利技术的一实施方式的电弧式蒸发源（101）具备如下：使磁化方向沿着与靶（102）的前面平行的方向而以包围靶的外周的方式配置的环状的外周磁体（103）；使磁化方向沿着与靶（102）的前面正交的方向而配置在靶的背面侧的背面磁体（104）。外周磁体（103）的径向内侧的磁极和背面磁体（104）的靶（102）侧的磁极是彼此相同的极性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种电弧式蒸发源，其特征在于，具备配置在靶的外周侧的环状的外周磁体和配置在所述靶的背面侧的背面磁体的至少任意一个，所述外周磁体和所述背面磁体的任意一个，以具有成为与所述靶的前面平行的磁化方向的极性的方式设置，由此，通过所述靶的蒸发面的磁力线的方向相对于所述蒸发面大体垂直。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：谷藤信一，山本兼司，
申请(专利权)人：株式会社神户制钢所，
类型：
国别省市：