【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种蒸镀装置,使蒸发的蒸镀材料在真空槽内附着到被蒸镀构件上,所述蒸镀装置的特征在于包括:坩埚,加热所述蒸镀材料并使其蒸发;以及流路,将从所述坩埚蒸发的蒸镀材料向所述真空槽内的所述被蒸镀构件引导,设置有用于检测所述坩埚的温度的温度传感器,在所述流路上设置有具备开度调节功能的阀,在所述真空槽内设置有用于检测所述被蒸镀构件的膜厚的膜厚监视器,并且设置有控制器,利用所述膜厚监视器检测出的膜厚来检测所述被蒸镀构件的蒸镀速率,调节所述阀的开度以使所述蒸镀速率成为规定的蒸镀速率,并且检测所述阀的开度的变化率,当所述变化率超过稳定在规定的蒸镀速率的状态下的稳定变化率时,使所述坩埚的设定温度以增量上升,从而增加所述蒸镀材料的蒸镀量。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:大工博之,菊地昌弘,松本祐司,
申请(专利权)人:日立造船株式会社,
类型:发明
国别省市:
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