【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种横向扩散金属氧化物半导体晶体管,其特征在于,其包括:一P型衬底以及位于该P型衬底表面上的一N型外延层;位于该N型外延层中的一P阱;位于该P阱中的一第一N型掺杂区域;穿过该第一N型掺杂区域、该P阱、该N型外延层并且直至该P型衬底的一沟槽,该沟槽的侧壁上具有第一氧化层,该沟槽中填充有P型掺杂的第一多晶硅,该第一多晶硅的上表面位于该P阱内且低于该第一N型掺杂区域;一第一金属层,该第一金属层覆盖于该第一多晶硅的上表面上以及覆盖于该第一N型掺杂区域上;以及,位于该P型衬底背面上的一源极金属层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:纪刚,顾建平,
申请(专利权)人:上海韦尔半导体股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。