下载横向扩散金属氧化物半导体晶体管及其制作方法的技术资料

文档序号:9336813

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本发明公开了一种LDMOS,包括:一P型衬底、一N型外延层;位于该N型外延层中的一P阱;位于该P阱中的一第一N型掺杂区域;穿过该第一N型掺杂区域、该P阱、该N型外延层且直至该P型衬底的一沟槽,该沟槽的侧壁上具有第一氧化层,该沟槽中填充有P型...
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