一种新式高效玻璃薄化设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新式高效玻璃薄化设备，其蚀刻箱体的内部设置蚀刻腔室、缓冲腔室以及搭肩，缓冲腔室的底部配装至少进液管，搭肩搭设上导流板和下导流板，上导流板的上导流孔的直径较下导流板的下导流孔的直径小，缓冲腔室内于下导流板的下方装设供气管道，供气管道包括集流管、进气管以及分流管，集流管和分流管分别开设透气孔，蚀刻箱体的上端部盖装蚀刻箱盖，蚀刻箱盖配装排气管。通过上述结构设计，本实用新型专利技术一方面能够有效地避免涡流对玻璃基板蚀刻质量的影响，进而能够有效地提高玻璃基板的蚀刻质量；另一方面能够使得空气均匀地分布于蚀刻腔室内，即能够加快玻璃基板蚀刻薄化速度并提高蚀刻效率。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种新式高效玻璃薄化设备，其特征在于：包括蚀刻箱体（1），蚀刻箱体（1）的内部成型有蚀刻腔室（11），蚀刻箱体（1）的内部于蚀刻腔室（11）的下方成型有缓冲腔室（12），蚀刻箱体（1）的内部于蚀刻腔室（11）与缓冲腔室（12）之间设置有搭肩（13），缓冲腔室（12）的底部配装有至少两条与循环泵体的出液口连接且往缓冲腔室（12）内供给蚀刻剂的进液管（2），蚀刻腔室（11）与缓冲腔室（12）之间装设有上下层叠且间隔布置的上导流板（3）和下导流板（4），上导流板（3）位于下导流板（4）的上方，下导流板（4）开设有上下完全贯穿且呈均匀分布的下导流孔（41），上导流板（3）开设有上下完全贯穿且呈均匀分布的上导流孔（31），上导流孔（31）和下导流孔（41）分别为圆形孔，上导流孔（31）的直径较下导流孔（41）的直径小；缓冲腔室（12）内于下导流板（4）的下方装设有往蚀刻腔室（11）内供给气体的供气管道（5），供气管道（5）包括有两条平行且间隔布置的集流管（51），各集流管（51）分别配装有与外部气源连通的进气管（52），两条集流管（51）之间装设有至少两条平行且间隔布置的分流管（53），分流管（53）的两端部分别与相应侧的集流管（51）连接，各集流管（51）和各分流管（53）分别开设有呈均匀间隔布置且朝上开口的透气孔（54）；蚀刻箱体（1）的上端部于蚀刻腔室（11）的上方盖装有蚀刻箱盖（6），蚀刻箱盖（6）配装有连通蚀刻腔室（11）的排气管（7）。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈必盛，
申请(专利权)人：湖北优尼科光电技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：