【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
多功能蚀刻机，包括一台主设备，其特征在于：还包括第一蚀刻液槽、第二蚀刻液槽和一个前清洗液槽，第一蚀刻液槽上设置有第一出料管，第一出料管上设置有第一输送泵，第二蚀刻液槽上设置有第二出料管，第二出料管上设置有第二输送泵，前清洗液槽上设置有前清洗液出料管，前清洗液出料管上设置有前清洗液输送泵，主设备上设置有输料总管，第一出料管、第二出料管和前清洗液出料管均连通至输料总管；第一蚀刻液槽上设置有第一进料管，第一进料管上设置有第一进料阀，第二蚀刻液槽上设置有第二进料管，第二进料管上设置有第二进料阀，前清洗液槽上设置有前清洗液进料管，前清洗液进料管上设置有前清洗液进料阀，主设备上设置有进料总管，第一出料管、第二出料管和前清洗液出料管均连通至进料总管。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：尹龙贤，郭廷君，
申请(专利权)人：惠晶显示科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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