TFT玻璃基板单面蚀刻的方法技术

本发明专利技术涉及TFT玻璃基板单面蚀刻的方法，包括如下步骤：a、将需要单面薄化的液晶玻璃基板进行清洗烘干处理；b、将需要保护的液晶玻璃基板面进行贴耐酸膜保护；c、将液晶玻璃基板和耐酸膜的夹缝之间点耐酸紫外线胶水，并使用紫外线进行照射，将胶水固化；d、采用蚀刻装置将处理过的液晶玻璃基板进行蚀刻处理；e、将单面蚀刻后的液晶玻璃基板边缘的紫外线胶使用对应特定溶液清洗掉；f、将液晶玻璃基板进行脱耐酸膜处理；g、将脱膜后的液晶玻璃基板清洗干净。利用本发明专利技术方法加工液晶玻璃基板可以有效解决现有技术中液晶玻璃基板单面薄化过程中边缘漏液的问题，该方法同样适用于其他需要单面蚀刻的玻璃。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
TFT玻璃基板单面蚀刻的方法，其特征在于：包括如下步骤：a、将需要单面薄化的液晶玻璃基板进行清洗烘干处理；b、将需要保护的液晶玻璃基板面进行贴耐酸膜保护；c、将液晶玻璃基板和耐酸膜的夹缝之间点耐酸紫外线胶水，并使用紫外线进行照射，将胶水固化；d、采用蚀刻装置将处理过的液晶玻璃基板进行蚀刻处理；e、将单面蚀刻后的液晶玻璃基板边缘的紫外线胶使用对应特定溶液清洗掉；f、将液晶玻璃基板进行脱耐酸膜处理；g、将脱膜后的液晶玻璃基板清洗干净。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：阮军，舒滔，
申请(专利权)人：惠晶显示科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：