蚀刻握持夹具制造技术

一种蚀刻握持夹具，包括两个侧板、至少一个支持件、多个夹板、至少两个夹板滑棒以及至少一个夹板压棒，所述两个侧板分置左、右两侧，所述至少一个支持件连接于所述两侧板，所述多个夹板设置于所述两个侧板之间，所述夹板两侧各设有接触头，每一接触头设有至少一个第一通道，所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间，且穿过所述多个夹板，所述至少一个夹板压棒设置于所述两个侧板的其中一个侧板上。藉此，可用于玻璃片或晶圆蚀刻等工件的握持，使蚀刻液的流场顺畅，玻璃片或晶圆等工件的边缘不与夹具接触，以将边缘蚀刻干净。本实用新型专利技术夹板两侧各设有接触头，用以夹持玻璃片或晶圆等工件，使夹板与工件接触面积减少，增加蚀刻液的流场顺畅。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种蚀刻握持夹具，其特征在于，包括：两个侧板，所述两个侧板分置左、右两侧；至少一个支持件，所述至少一个支持件连接于所述两侧板；多个夹板，所述多个夹板设置于所述两个侧板之间，所述夹板两侧各设有接触头，每一接触头设有至少一个第一通道；至少两个夹板滑棒，所述至少两个夹板滑棒设置于所述两个侧板之间，且穿过所述多个夹板；以及至少一个夹板压棒，设置于所述两个侧板的其中一个侧板上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈毓正，吴宗恩，余智林，
申请(专利权)人：弘塑科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：