【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种玻璃微通道的制备方法,其特征在于包括以下步骤:1)用计算机辅助设计软件设计和绘制微通道图形,并在双面胶基材上加工出镂空的微通道结构;2)将加工好的双面胶掩膜和玻璃基片粘贴封合;3)将玻璃基片放入氢氟酸腐蚀液中进行湿法刻蚀,刻蚀至所需深度后取出,将双面胶从基片表面剥离,得到具有微凹槽结构的玻璃基片。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:叶嘉明,
申请(专利权)人:苏州扬清芯片科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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