一种改良型玻璃基板薄化设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种改良型玻璃基板薄化设备，其蚀刻箱体的蚀刻腔室内装设进液管道、超声波振动板以及固定支撑架，进液管道包括集流管、进液管以及分流管，集流管和分流管分别开设出液孔，超声波振动板配装超声波发生器。循环泵体通过进液管道将蚀刻剂输送至蚀刻腔室内，进液管道通过出液孔将蚀刻剂进行分流并细化成多股细小的蚀刻剂流，进而使蚀刻剂均匀稳定地进入至蚀刻腔室内；另外，本实用新型专利技术通过超声波清洗的方式来将玻璃基板表面蚀刻后的反应残渣带走并清洗掉。故而，本实用新型专利技术一方面能够有效地避免涡流对玻璃基板蚀刻质量的影响，进而能够有效地提高玻璃基板的蚀刻质量；另一方面能够加快玻璃基板蚀刻薄化速度并提高蚀刻效率。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种改良型玻璃基板薄化设备，其特征在于：包括有蚀刻箱体（1），蚀刻箱体（1）的内部成型有蚀刻腔室（11），蚀刻腔室（11）的下端部设置有搭肩（12），蚀刻腔室（11）的下端部装设有往蚀刻腔室（11）内供给蚀刻剂的进液管道（2），进液管道（2）搭设于搭肩（12），进液管道（2）包括有两条平行且间隔布置的集流管（21），各集流管（21）分别配装有与循环泵体的出液口连接的进液管（22），两条集流管（21）之间装设有至少两条平行且间隔布置的分流管（23），分流管（23）的两端部分别与相应侧的集流管（21）连接，各集流管（21）和各分流管（23）分别开设有呈均匀间隔布置且朝上开口的出液孔（24）；蚀刻腔室（11）的底部于进液管道（2）的下方装设有超声波振动板（3），蚀刻箱体（1）的外侧对应超声波振动板（3）装设有超声波发生器（4），超声波发生器（4）与超声波振动板（3）电连接；蚀刻腔室（11）于进液管道（2）的上方装设有用于固定支撑待蚀刻玻璃基板（7）的固定支撑架（5）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈必盛，
申请(专利权)人：湖北优尼科光电技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：