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本实用新型公开了一种改良型玻璃基板薄化设备，其蚀刻箱体的蚀刻腔室内装设进液管道、超声波振动板以及固定支撑架，进液管道包括集流管、进液管以及分流管，集流管和分流管分别开设出液孔，超声波振动板配装超声波发生器。循环泵体通过进液管道将蚀刻剂输送至...
该专利属于湖北优尼科光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北优尼科光电技术有限公司授权不得商用。

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