一种光纤预制棒的制造设备制造技术

本实用新型专利技术一种光纤预制棒的制造设备涉及的是一种光纤预制棒制造领域，具体地说，是利用红外热像技术采集粉末棒头表面温度，并参与控制气体流量的一种设备。使用该设备能够做到对气体流量的实时调整，以便实现对粉末棒密度的精确控制，防止由于密度梯度大而导致粉末棒开裂，从而提升产品质量。包括塔体、预制棒沉积腔体、电机一、电机二、卡盘、丝杆、金属吊杆、导轨、石英腔体、石英靶棒、石英喷灯一、石英喷灯二、SiCl4原料罐、GeCl4原料罐、液态Ar储罐、液态O2储罐、H2储罐、气体控制柜、电磁阀一、电磁阀二、中央处理器、红外热像仪、排风管、前处理塔、电除尘塔和洗涤塔。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种光纤预制棒的制造设备，其特征在于：包括塔体、预制棒沉积腔体、电机一、电机二、卡盘、丝杆、金属吊杆、导轨、石英腔体、石英靶棒、石英喷灯一、石英喷灯二、SiCl4原料罐、GeCl4原料罐、液态Ar储罐、液态O2储罐、H2储罐、气体控制柜、电磁阀一、电磁阀二、中央处理器、红外热像仪、排风管、前处理塔、电除尘塔和洗涤塔；在石英腔体上方安装预制棒沉积腔体，在塔体上安装导轨，卡盘与丝杆相连，电机一控制丝杆旋转，以使卡盘沿导轨上升和下降，电机二控制卡盘旋转；金属吊杆装夹在卡盘上，石英靶棒装入金属吊杆中，用于在沉积过程中附着粉末；石英喷灯一、石英喷灯二分别安装在石英腔体右侧，石英喷灯一和石英喷灯二的喷灯口在石英腔体内部；SiCl4原料罐、GeCl4原料罐、液态Ar储罐、液态O2储罐、H2储罐中的气体分别通过管道进入气体控制柜内部，由质量流量控制器MFC控制气体流量，并继续分别经管道进入石英喷灯一、石英喷灯二；石英腔体左侧安装有红外热像仪，红外热像仪通过信号线与中央处理器相连；与石英喷灯一、石英喷灯二相连的H2管路上分别装有电磁阀一、电磁阀二，通过控制线与中央处理器相连；石英腔体左上部设置有排风管，排风管与前处理塔相连通，前处理塔通过管道与电除尘塔相连，电除尘塔通过管道与洗涤塔相连，用于收集、处理反应过程中产生的尾气。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谢康，陶伟，钱宜刚，吴椿烽，沈一春，
申请(专利权)人：中天科技精密材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：