【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种多层结构高阻隔薄膜的制备方法,其特征在于,它包括以下步骤:a.在透明基材上用等离子体增强化学气相沉积法沉积一层无机镀层;b.在1~80Pa真空状态下,利用具有刻蚀性能的气体放电形成等离子体对沉积的无机镀层进行刻蚀;c.在上述被刻蚀的无机镀层表面用等离子体增强化学气相沉积法沉积一层无机镀层;重复上述步骤,得到多层结构高阻隔薄膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:黄尚鸿,陈强,李丽,吴常良,孟涛,曹海燕,
申请(专利权)人:中国乐凯集团有限公司,
类型:发明
国别省市:
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